針對廢氣處理設(shè)備的燃燒-水洗系統(tǒng)
概述
CT-BW使用點(diǎn)對點(diǎn)廢氣減排系統(tǒng)是應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體以及其
它相關(guān)產(chǎn)業(yè)的化學(xué)氣相沉積和刻蝕等領(lǐng)域的一種高性能系統(tǒng)。
隨著新工藝引進(jìn)了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負(fù)荷量，
廢氣減排技術(shù)需要進(jìn)一步改善。
CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標(biāo)準(zhǔn)。CT-BW具有許
多優(yōu)點(diǎn)，例如，針對化學(xué)氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
全氟化合物、各類固體、氣態(tài)反應(yīng)的副產(chǎn)物）有著高處理效率
（DRE）。
該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是極可靠的，即使在嚴(yán)苛的制程條件下仍具有資
源節(jié)約性能。
獨(dú)立的功能部件（例如，燃燒頭、燃燒腔、水洗腔、廢氣進(jìn)
口、冷卻系統(tǒng)）可以根據(jù)各種應(yīng)用而靈活地安裝。
我們延長維護(hù)周期和zui大化正常運(yùn)行時(shí)間的秘訣是─客戶量身
定制的廢氣減排系統(tǒng)。
工藝技術(shù)
? 每個(gè)模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm
? 可高效處理沉積和蝕刻氣體
? 經(jīng)改良的減塵處理
? 監(jiān)控緊急旁路稀釋
? 更大的反應(yīng)腔容量，以提供更佳的處理效率
CT-BW廢氣處理設(shè)備-水洗燃燒系統(tǒng)流程示意圖：
特點(diǎn)和優(yōu)勢
? 高達(dá)99.99%的處理效率（DRE）
? 模塊化
- 一個(gè)電器柜可連接高達(dá)四組獨(dú)立模塊
- 模塊間彼此隔離
- 每個(gè)模塊都有其獨(dú)立的安全鏈（傳感器，探針等）
? 每個(gè)介質(zhì)只需要一個(gè)Hook-up連接點(diǎn)，可多達(dá)4個(gè)模塊
? 客戶量身定制的備用配置
? 低運(yùn)行成本，根據(jù)制程來控制燃燒頭性能
? 改良的抗腐蝕反應(yīng)腔蓋
? 上至下燃燒器設(shè)計(jì)，降低燃燒頭噴嘴的阻塞問題
? 反應(yīng)腔中的水幕，避免腐蝕和阻塞問題
? 由于經(jīng)優(yōu)化的內(nèi)部設(shè)計(jì)，可使維護(hù)簡易且快速
? 自動(dòng)化的廢氣進(jìn)口清潔裝置，增加MTBPM
? 圖形化的使用介面并附解說文字，使故障排除更為容易
? Ethernet或RS485的監(jiān)控接口
? 量身定制的廢氣減排設(shè)置，以滿足各種工藝需求
? 燃料氣的選擇性高，如：液化天然氣、城市燃?xì)?、煤氣、氫氣、丙烷、丁烷?nbsp;
? 符合以下的安全標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范：
- SEMI S2-0706
- SEMI S8-0308
- SEMI S14-0704
- NFPA79: 2007
- EN / ISO 14121-1: 2007
- EN / ISO 13849-1: 2008
- EN60204-1: 2006
- MD2006/EC/42-Annex I: 2006
? 德國制造
尺寸：
技術(shù)數(shù)據(jù)：
