CRBR型外延爐尾氣凈化器是在我公司引進美國*技術(shù)以及結(jié)合我公司十幾年的設計生產(chǎn)經(jīng)驗而研發(fā)出的新型外延爐尾氣凈化器,是迄今為止更高效、更可靠、更低成本的Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD化學氣相沉積工藝尾氣處理設備。
CRBR型的成功研發(fā),解決了SiO2粉塵在進氣口的堵塞問題這一行業(yè)難題;由于該產(chǎn)品采用了本公司研制的*進氣技術(shù)和承插式活動進氣套管,無需停機的清除粉塵的裝置,使得該洗滌器的一次維護時間可長達半年之久。這一優(yōu)異性能帶來了設備更長的正常運行時間、更高的產(chǎn)量、更優(yōu)異的工藝穩(wěn)定性和更高的安全性。
與同行業(yè)相關洗滌凈化器相比,本公司研制的CRB型外延爐為其凈化器有著諸多性能:
凈化效率高達99.99%
使用成本低于同類產(chǎn)品
操作維護簡單方便
進氣口設置科學合理
維護停機時間大大縮短
負壓穩(wěn)定性好
安全可靠性更高
通過使用商反饋數(shù)據(jù)表明:即使在zui苛刻的pi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD工藝條件下使用,經(jīng)過洗滌器的HCl廢氣在洗滌器的排放口仍在1ppm以下,SiO2粉塵去除率在99.99%以上,水溶性氣體的清除率高達99.99%以上。
應用范圍:光伏、電子、太陽能、半導體等行業(yè)