CRBR型外延爐尾氣凈化器是在我公司引進(jìn)美國(guó)*技術(shù)以及結(jié)合我公司十幾年的設(shè)計(jì)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)而研發(fā)出的新型外延爐尾氣凈化器,是迄今為止更高效、更可靠、更低成本的Epi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣處理設(shè)備。
CRBR型的成功研發(fā),解決了SiO2粉塵在進(jìn)氣口的堵塞問(wèn)題這一行業(yè)難題;由于該產(chǎn)品采用了本公司研制的*進(jìn)氣技術(shù)和承插式活動(dòng)進(jìn)氣套管,無(wú)需停機(jī)的清除粉塵的裝置,使得該洗滌器的一次維護(hù)時(shí)間可長(zhǎng)達(dá)半年之久。這一優(yōu)異性能帶來(lái)了設(shè)備更長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間、更高的產(chǎn)量、更優(yōu)異的工藝穩(wěn)定性和更高的安全性。
與同行業(yè)相關(guān)洗滌凈化器相比,本公司研制的CRB型外延爐為其凈化器有著諸多性能:
凈化效率高達(dá)99.99%
使用成本低于同類(lèi)產(chǎn)品
操作維護(hù)簡(jiǎn)單方便
進(jìn)氣口設(shè)置科學(xué)合理
維護(hù)停機(jī)時(shí)間大大縮短
負(fù)壓穩(wěn)定性好
安全可靠性更高
通過(guò)使用商反饋數(shù)據(jù)表明:即使在zui苛刻的pi(磊晶)、Poly(多晶)、PECVD工藝條件下使用,經(jīng)過(guò)洗滌器的HCl廢氣在洗滌器的排放口仍在1ppm以下,SiO2粉塵去除率在99.99%以上,水溶性氣體的清除率高達(dá)99.99%以上。
應(yīng)用范圍:光伏、電子、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體等行業(yè)