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低溫等離子反應(yīng)原理為粒子非彈性碰撞的結(jié)果。低溫等離子體內(nèi)部含有 電子/離子/自由基和激發(fā)態(tài)分子，其中高能電子與氣體分子發(fā)生非彈性 碰撞，將能量轉(zhuǎn)換成基態(tài)分子內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)/離解和電離等一系列過 程，使氣體分子處于活化狀態(tài)。一方面打開了氣體分子鍵，生成一些單 分子和固體微粒。另一方面產(chǎn)生強(qiáng)氧化性物質(zhì)對有機(jī)氣體進(jìn)行無選擇氧 化。
            等離子體形式：1.輝光放電2.電暈放電3.介質(zhì)阻擋放電4. 射頻放電5.微波放電
       其中常壓產(chǎn)生低溫等離子體的只有電暈放電和介質(zhì)阻擋放電。
       低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng) 外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離 子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重 粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。
       低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性 粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解， 并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到分解污染物的目的。（注：低溫等離子體 相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運(yùn)行。）

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       低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設(shè)備和技術(shù)作為一種新型的氣 態(tài)污染物的治理技術(shù)是一個集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體 的交叉綜合性電子化學(xué)技術(shù)，由于能易使污染物分子高效分解且處理能 耗低等特點(diǎn)，是目前國內(nèi)外大氣污染治理中zui有效的技術(shù)方法之一，其 使用和推廣前景廣闊，為工業(yè)領(lǐng)域VOC類有機(jī)廢氣及惡臭氣體的治理開 辟了一條新的思路。
         DDBD等離子體反應(yīng)區(qū)富含*的物質(zhì)，如高能電子、離子、 自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物 質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種 反應(yīng)以達(dá)到講解污染物的目的。與傳統(tǒng)的電暈放電形勢產(chǎn)生的低溫等離 子技術(shù)相比較，DDBD等離子體技術(shù)放電密度是電暈放電的1500倍，這就 是傳統(tǒng)低溫等離子體技術(shù)治理工業(yè)廢氣99%以失敗而告終的原因。

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