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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

XRD Omega掃描儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鉑悅儀器(上海)有限公司 廣州辦事處
  • 品       牌
  • 型       號(hào)Omega
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2018/5/14 9:00:00
  • 訪問次數(shù)538
產(chǎn)品標(biāo)簽:

掃描儀

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鉑悅儀器自2004年成立以來,憑借與世界各大儀器的戰(zhàn)略合作關(guān)系,以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營(yíng)管理,提高服務(wù)質(zhì)量,成為中國國內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè),產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測(cè)儀器和生產(chǎn)設(shè)備,以及配套的耗材和配件,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、工業(yè)、太陽能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個(gè)領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、及政府部門等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品,更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),本著客戶*的原則,從客戶的實(shí)際需求出發(fā),鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制Z適合的綜合解決方案,并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù),由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都、香港、加拿大設(shè)立了辦事處,在能及時(shí)引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時(shí),保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國各地的客戶提供良好的服務(wù)。


企業(yè)文化: CREDIT

C- Confidence: 自信

R- Responsibility: 責(zé)任心

E- Efficiency: 效率

D-Diligence: 勤奮

I- Intelligence: 機(jī)智

T- Trust: 信任


AFM探針及配件,X射線熒光測(cè)厚儀,防潮箱,壓片機(jī),熔樣機(jī),標(biāo)樣,層析板,SPIP三維圖像處理軟件,電鏡制樣設(shè)備及耗材,Vision顯微鏡,研磨拋光機(jī),氣體分析儀
Omega掃描 一種用于確定晶體取向(晶向)的測(cè)量技術(shù)
單晶及取向性材料的生長(zhǎng)和應(yīng)用過程中相對(duì)于外表面或其它幾何特征的表征方法。晶體取向測(cè)試和單晶質(zhì)量評(píng)估越來越受到研究員的重視。
X射線衍射法是檢測(cè)材料晶體結(jié)構(gòu)的主要手段,但是常規(guī)X射線衍射法和儀器由于探頭只能接收到晶體法線在衍射平面內(nèi)的晶體眼射線,因此衍射圖上只出現(xiàn)一個(gè)晶面的強(qiáng)衍射峰,或者一個(gè)衍射峰也不出現(xiàn)。想要得到完整晶格取向圖譜往往需要添加織
XRD Omega掃描儀 產(chǎn)品信息

Omega掃描方法的原理如圖1.所示, 在測(cè)量過程中晶體繞軸線旋轉(zhuǎn),該系統(tǒng)的參考軸旋轉(zhuǎn)速度恒定。X射線光管以及接收反射光束的探測(cè)器處于設(shè)置位置。X射線光束被傾斜于旋轉(zhuǎn)軸的晶格面反射兩次,這些反射發(fā)生于傾斜的幾何晶面間。反射光束的角度可以由垂直于旋轉(zhuǎn)軸線(Omega circle)與晶體平面的夾角得出。初級(jí)光束的入射角選擇相應(yīng)的范圍,并且檢測(cè)器前的掩模要定位準(zhǔn)確,以便獲得足夠多數(shù)目晶格面的反射光束。確保至少兩晶格平面的反射光束必須能被探測(cè)。這樣對(duì)稱軸及其附近旋轉(zhuǎn)軸的晶體取向,會(huì)隨著角度的變換,對(duì)稱或相同的反射信號(hào)信息將會(huì)被采集(圖2),整個(gè)測(cè)量只需要幾秒鐘時(shí)間。取向測(cè)量是測(cè)量宏觀表面和內(nèi)部晶體點(diǎn)陣坐標(biāo)系的相互幾何關(guān)系??梢岳孟嚓P(guān)晶系坐標(biāo)計(jì)算晶格取向的反射角度,此外,還要測(cè)量omega方位任何點(diǎn)陣方向上投影的方位角(各晶面對(duì)應(yīng)的衍射角度)。
這種方法測(cè)試是在晶體物象已知,各晶面族對(duì)應(yīng)的衍射角度能查出。而衍射角度偏差幾度,甚至是10度,或者更多。在特殊情況下(立方晶體),它也適用于晶體的任意方向。

晶格取向也可以被稱為轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸線。晶體表面被放置在測(cè)量臺(tái)上,調(diào)整旋轉(zhuǎn)軸和定位測(cè)量裝置。晶體物象的衍射角可以根據(jù)初步測(cè)量結(jié)果進(jìn)行調(diào)整,測(cè)量臺(tái)上與晶體表面之間的位置關(guān)系可以通過額外的光學(xué)工具來獲得。方位角基準(zhǔn)也可以通過光學(xué)機(jī)械的測(cè)量來實(shí)現(xiàn)。

 

 

XRD Omega掃描儀行業(yè)應(yīng)用:

設(shè)備和應(yīng)用
如果同類材料進(jìn)行測(cè)量需要一個(gè)或者幾個(gè)主要晶體取向,可以選擇不同類型的反射口罩來達(dá)到測(cè)試目的,僅需要簡(jiǎn)單更換。有時(shí),為了擴(kuò)大接收的角度范圍可以配備兩個(gè)探測(cè)器。為了應(yīng)用更普遍,該裝置的X射線管和探測(cè)器系統(tǒng)可以進(jìn)行功能參數(shù)設(shè)置。
圖3是桌面衍射儀,我們可以將晶體表面放置在測(cè)量臺(tái)上研究,它可以適用于大量不同種類和取向的晶體。例如晶圓缺口的不同方位角可以通過調(diào)節(jié)狹縫大小測(cè)量。

 

圖3 Omega掃描測(cè)量桌面衍射儀

另一種類型的裝置是為尺寸較大的晶體設(shè)計(jì),并且配備有可以用于調(diào)節(jié)不同形狀的晶體晶柱裝置(圖4)。為了應(yīng)用于不同的測(cè)量材料和晶體取向,X射線管和檢測(cè)器可根據(jù)相應(yīng)的角度進(jìn)行移動(dòng)。這也可以用于常規(guī)衍射物測(cè)量。所以omega掃描測(cè)量可與搖擺曲線掃描晶體質(zhì)量的方法進(jìn)行組合。因此,在初級(jí)束準(zhǔn)直器上配有一個(gè)信道切晶體準(zhǔn)直儀,兩種模式都可以簡(jiǎn)單地更換。
此類型衍射儀也可配備用于在轉(zhuǎn)盤臺(tái)面上映射的x-y桌,它可以確定施加的朝向以及用于搖擺曲線測(cè)量。

 

圖4 omega和theta掃描測(cè)試,可以進(jìn)行原位mapping掃描

XRD Omega掃描儀技術(shù)參數(shù):

X-ray source:Standard X-ray tube, Cu anode
Detector:Scintillation counter (single or double)
Sample holder:Precise turntable (accuracy 0.01°), mounting plate and tools for sample adjustment
Crystal collimator :Primary Ge or Si channel-cut collimator, measurable minimal broadening: < 10 arc sec
Mapping :x-y table, lateral resolution 0.1 mm
Dimensions:H 1950 mm × D 820 mm × W 1200 mm
Weight:650 kg
Power supply:208-240 V, 16 A single phase, 50-60 Hz
Water cooling:Flow – 4l/min, max. pressure 8 bar, T ≤ 30° C

15168338725
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