進行潔凈室凈化工程設(shè)計時應(yīng)設(shè)法盡可能地考慮一定的靈活性，以便使建成后的潔凈室凈化工程能隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展可以方便地進行技術(shù)改造。

凈化工程安裝簡介

潔凈室凈化工程設(shè)計首先要了解所設(shè)計的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點等、比如設(shè)計的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程．首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點；對潔凈室凈化工程的要求——空氣潔凈度等級、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質(zhì)的供應(yīng)要求等；其次要充分了解業(yè)主擬采用的生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備情況和對工藝布局的設(shè)想。在此之后，設(shè)計人員應(yīng)協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃，確定各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種控制參數(shù)——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量；初步選擇潔凈室凈化工程的氣流流型并進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的初步估算及設(shè)計力案的對比、確定；進行潔凈廠房的平面布置、空間布置，此時必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個產(chǎn)輔助區(qū)t動力公用設(shè)施區(qū)的合理布局，通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程，在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理，有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。

凈化工程安裝注意

在進行潔凈室凈化工程的平面布局時必須符合國家的現(xiàn)行規(guī)范中有關(guān)安全生產(chǎn)、消防、環(huán)保和職業(yè)衛(wèi)生方面的各種要求；在進行潔凈室凈化工程平面布局時應(yīng)充分考慮人流、物流的安排．盡力做到短捷、流暢。在空間設(shè)計時應(yīng)分考慮產(chǎn)品生產(chǎn)過程和潔凈室凈化工程內(nèi)各種管線、物流運輸?shù)暮侠戆才?。在確定潔凈廠房的平面、空間布置后，對潔凈室凈化工程設(shè)計涉及的各個專業(yè)提出設(shè)計內(nèi)容、技術(shù)要求及設(shè)計中應(yīng)注意的相關(guān)問題。

溫度控制

化工程的控制潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。