D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）
D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器（5SCCM-10SLM）產(chǎn)品用途：
質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
★高性能價格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型
★管狀分流，使用壽命長
技術(shù)參數(shù)：
滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM |
控制范圍 | 2～100％F.S. |
閥類型（及閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥 （常閉） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5％F.S. |
線性 | ±0.5～1.5％F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. |
響應(yīng)時間 | ≤7sec |
工作溫度范圍 | 5～45℃ |
工作壓差 | 0.1～0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 |
靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） |
電連接器 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale |
動密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） |
接頭選擇 | VCR 1/4” |
雙卡套 1/4”或φ6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg |
詳細(xì)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 | D07-7B |
|---|---|
| 產(chǎn)品類型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤10sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數(shù) | - 無 - |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Female |
| 工作壓差范圍 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 1.1Kg |
