一、產(chǎn)品簡介：
硅烷也稱矽烷，是化學(xué)分子式為SiH4的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶于水。在室溫下硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中無需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。
我公司生產(chǎn)的ZCRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備，主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉淀工藝所產(chǎn)生的廢氣。
二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)：
新型不銹鋼硅烷燃燒塔設(shè)備由：不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。
三、工作原理：
新型不銹鋼硅烷燃燒塔采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板進(jìn)行制造，燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，它分別有一級燃燒塔和二級燃燒洗滌塔組成。根據(jù)硅烷(矽烷)在空氣中自燃的特性，特在燃燒塔中設(shè)置密閉燃燒室，為保證硅烷在燃燒室內(nèi)充分燃燒，必須保證燃燒塔內(nèi)負(fù)壓，控制在-100Pa左右。
根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進(jìn)入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過噴淋處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣
在進(jìn)氣方便采用壓縮空氣加新風(fēng)進(jìn)氣口雙進(jìn)風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動補(bǔ)水相結(jié)合的方法，風(fēng)機(jī)采用一用一備形式，這些工藝特點使得此在安全可靠性方面得到*保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。
四、適用范圍：
主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對國外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化。
