日本BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B主要是測(cè)量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備,可以進(jìn)行微小領(lǐng)域(微米等級(jí))和納米薄膜等的測(cè)量。
日本BETHEL熱分析儀器熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢(shì):
? 熱物性顯微鏡是測(cè)量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備;
? 可以通過(guò)點(diǎn)、線(xiàn)、面測(cè)量樣品的熱物性;
? 可測(cè)量微米等級(jí)的熱物性值的分布;
? *非接觸方式且高分辨率的熱物性測(cè)量設(shè)備;
? 檢測(cè)光點(diǎn)徑3μm、高分辨率來(lái)測(cè)量微小領(lǐng)域的熱物性(點(diǎn)、線(xiàn)、面 測(cè)量);
? 可改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量,從薄膜、多層膜到散裝材料都可測(cè)量;
? 基板上的樣品也可測(cè)量;
? 激光非接觸式測(cè)量;
? 可檢測(cè)薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問(wèn)題。
微小領(lǐng)域(微米等級(jí))、納米薄膜、Sic(單晶體、多晶體)、AIN等的測(cè)量。
測(cè)量環(huán)境 | 測(cè)量溫度 | 室溫 | |||
測(cè)量溫度(搭載加熱器時(shí)) | RT ∼ 300[℃] | - | |||
測(cè)量頻率 | 0.01[Hz] ∼ 100[kHz] | ||||
半導(dǎo)體激光 | 波長(zhǎng) | 808[nm] | |||
大輸出功率 | 1.5[W] | ||||
放射溫度計(jì) | 元件 | InSb | |||
冷卻方法 | 液態(tài)氮 | ||||
平臺(tái)可動(dòng)范圍 | 檢測(cè)平臺(tái) | ±5[mm] | ±5[mm] | ±5[mm] | - |
樣品平臺(tái) | ±10[mm] | - | - | - | |
重復(fù)精度 | ±5[%] | ||||
電源 | AC100-240[V], 10-5[A], 50/60[Hz] | ||||
激光安全 | CLASS Ⅰ LASER PRODUCT | ||||
IEC/EN 60825-1:2007 |