變壓吸附(簡(jiǎn)稱PSA)制氧裝置，在常溫條件下，利用分子篩選擇吸附空氣中的氮?dú)?，降低吸附塔壓力?lái)脫附分子篩中的氮?dú)猓瑥亩鴮?shí)現(xiàn)吸附－脫附循環(huán)操作，連續(xù)制取純度90~95%的氧氣從而實(shí)現(xiàn)配套臭氧脫硝制氧機(jī)。

本裝置采用兩塔制VPSA法，利用分子篩從空氣中吸附氮?dú)?，分離提取氧氣，制得93％的富氧?？諝饨?jīng)過(guò)過(guò)濾器進(jìn)入鼓風(fēng)機(jī)，在鼓風(fēng)機(jī)的輸送下從吸附塔下部進(jìn)入。吸附塔下部填充活性氧化鋁，其作用是去除空氣中的水分子和二氧化碳分子，以免使沸石分子篩“中毒”。吸附塔的上部是沸石分子篩，當(dāng)空氣流經(jīng)填滿分子篩的固定床時(shí)，空氣中的氮?dú)夥肿釉谖阶饔昧ο聰U(kuò)散到分子篩固體中去，氧氣分子和氬氣原子則通過(guò)床層到緩沖罐中。緩沖罐與氧壓機(jī)相連，將產(chǎn)品氣壓縮到用戶所需的壓力，送到儲(chǔ)氣罐中，供用戶使用。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的吸附，分子篩顆粒中充滿氮?dú)夥肿樱_(dá)到吸附飽和階段，此時(shí)關(guān)閉空氣進(jìn)口閥，利用塔內(nèi)的富氧空氣對(duì)剛抽真空的另一塔進(jìn)行沖洗，等壓力降到某一值時(shí)關(guān)閉均壓閥，同時(shí)打開(kāi)真空泵進(jìn)口閥對(duì)塔體抽真空，到一定真空度后再利用另一塔內(nèi)的富氧氣及緩沖罐中部份產(chǎn)品氣對(duì)沸石分子篩沖洗，從而使吸附劑*解吸。吸附劑解吸過(guò)程完成后，用產(chǎn)品氣對(duì)塔進(jìn)行充壓，充壓至某一低真空度值后關(guān)閉緩沖閥，打開(kāi)鼓風(fēng)機(jī)出口閥對(duì)吸附塔進(jìn)行充壓，為下一次吸附做準(zhǔn)備。