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廣電計量檢測集團股份有限公司

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱 工業(yè)烘箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/7/16 9:35:47
  • 訪問次數(shù)1945
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!






HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝
無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱技術(shù)參數(shù):

用途

用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

溫度范圍

室溫+10℃~250℃

溫度波動度

恒溫溫度波動±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(寬)*600(高)(可自定)

潔凈度

Class100

氣體過濾

配有氣體過濾裝置,保證腔體內(nèi)潔凈度為100級

隔板要求

每個腔體配二個隔板,用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑(或SUS304)

箱體內(nèi)壁材料

為不銹鋼板內(nèi)壁氬弧焊(SUS316或SUS304)

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內(nèi)空氣排出,確保烘烤的硅片是在氮氣中進行

控制方式

人機界面+PLC控制

氮氣流量

0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線)

超溫保護

采用獨立的超溫保護裝置,確保溫度不超限;當保護裝置動作時,超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調(diào)

計時方式

溫度達到制程設(shè)定值后開始計時.

排風口

直徑114mm的排風口,且安裝有調(diào)節(jié)風閥

電氣安全保護

風機過載保護、加熱系統(tǒng)超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護.

MES軟件

可連接MES系統(tǒng)

作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認是否正確

自動記錄作業(yè)累計次數(shù),作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表

有權(quán)限操作員需掃碼后才可操作此設(shè)備,且自動記錄作業(yè)人員

 

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱用途: 

   無塵烘箱用于IC生產(chǎn)過程中極為重要的光刻工藝中預烘烤(軟烘),脫水烘烤,涂膠后的堅膜烘烤(硬烘);也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

 

 

 

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