Chem 20™ 化學(xué)式粒子計數(shù)器
靈敏度: 20 - 100 nm
Chem 20™ 化學(xué)式粒子計數(shù)器
*的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計數(shù)器需要經(jīng)過高度過濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度zui高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。
來自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競爭產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計意義。 Chem 20化學(xué)顆粒計數(shù)器是非常有用的工具，在化學(xué)顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，它使設(shè)備和工藝工程師能夠快速檢測并描述化學(xué)顆粒源。
特點
- *的激光光學(xué)和檢測器使檢測化學(xué)物質(zhì)的靈敏度達到20 nm
- 車載化學(xué)流量計用于設(shè)定樣品流量
- *個能針對低和高折射率化學(xué)品進行優(yōu)化的顆粒計數(shù)器，以提高產(chǎn)品性能：
Chem 20傳感器，用于具有較低折射率的化學(xué)品
Chem 20-HI傳感器，適用于硫酸和其他高指數(shù)化學(xué)品 - 內(nèi)部泄漏檢測會在內(nèi)部化學(xué)品泄漏時提供報警
- 低流量檢測器和報警器，以確保數(shù)據(jù)*
- 宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能
- 本地數(shù)據(jù)顯示
優(yōu)點
- 實時檢測20 nm PSL和9 nm Au微粒
- 檢測影響良率的粒子（競爭技術(shù)無法達到）
- 在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移
- 優(yōu)化化學(xué)品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工點的整個過程
- 改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計，加強過程工藝控制
- 針對不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間
- 傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信
應(yīng)用
- 化學(xué)輸送系統(tǒng)內(nèi)的實時粒子監(jiān)測
- 流程監(jiān)控點
- 化學(xué)包裝操作監(jiān)控
- 化學(xué)過濾器性能和效率描述
- 化學(xué)處理部件的性能測試
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