產(chǎn)品特性
1. 非真空環(huán)境下的低溫測試，可達-100℃
2. 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設計
3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動
4. 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試
5. 高等院校/研究所/公司實驗室使用
6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測試
7. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測試
9. 精密絲桿傳動結(jié)構(gòu)，線性移動
10. 器件的高頻特性測試（可至300GHz頻率）
主要技術指標
型號 | LS-WPS150-TEC | LS-WPS200-TEC | LS-WPS300-TEC | |||
外形 | 860mm長* 850mm寬* 700mm高 | 880mm長* 860mm寬* 750mm高 | 1400mm長* 920mm寬* 920mm高 | |||
重量 | 約150公斤 | 約170公斤 | 約250公斤 | |||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||
樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | ||
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | |||
移動精度 | 1um | |||||
切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 | |||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | |||||
電學運用 | 電學獨立懸空，可作為背電極使用 | |||||
針座平臺 | 規(guī)格 | O型平臺，多可以放置8個針座 | O型平臺，多可以放置10個針座 | O型平臺，多可以放置12個針座 | ||
行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降，行程6mm，并帶自動鎖定功能；可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um | |||||
溫控特性 | 溫度范圍 | -100~200℃ | -80~200℃ | -60~200℃ | ||
溫控精度 | 溫度分辨率：0.01℃ | |||||
加熱電源 | LVDC低壓直流 | |||||
低控溫速率 | ±0.1℃/小時 | |||||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||||
光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | ||||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡氣動升降 | |||||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |||||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配） | |||||
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||||
點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||
機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||
漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） | |||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 | |||||
應用方向 | 高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器測試，射頻測試等
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