徠卡DM3XL正置顯微鏡
在微電子和半導(dǎo)體行業(yè)中,檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關(guān)重要。檢測缺陷的速度越快,您做出響應(yīng)的速度也就越快。
視場寬敞 30%
DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場幫助您的團(tuán)隊(duì)更快地識別缺陷,提高您的收益率。充分利用*的宏觀物鏡,視場寬敞 30%。
徠卡DM3XL正置顯微鏡
看到更多細(xì)節(jié)意味著工作更高效。為快速掃描達(dá)到 6" 的大組件,DM3 XL 提供*的宏觀物鏡。
利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的視場 – 比其他常規(guī)掃描物鏡寬敞 30%。
在宏觀物鏡下,缺陷無所遁形:
- 提高您的收益率
- 可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域
- 檢測不均勻的徑向膜厚度
DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫,并在所有亮度等級下提供真彩色成像。
- 在所有亮度等級下實(shí)現(xiàn)真彩色成像
- 自由調(diào)節(jié)
- 無需更換燈泡 – 無停機(jī)時間
- 可復(fù)制的結(jié)果
由于 LED 使用壽命長,耗電量低,因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。
DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價格享受到的光學(xué)性能。
- 采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑:以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品,從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化。
- 借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。
您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。
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