半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

二、電子材料高純水設備應用領域

     1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；

　　 2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；

　　 3、實驗室和中試車間用超純水；

　　 4、汽車、家電表面拋光處理；

　　 5、光電子產(chǎn)品；

　　 6、其他高科技精微產(chǎn)品；

三、電子材料高純水設備工藝流程

　 1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

　　 2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

　　 3、采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原?rarr;多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點   

四、電子材料用超純水設備特點

     電子材料用超純水設備通常由全自動多介質(zhì)過濾器，全自動活性碳過濾器，全自動軟化器、精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。   

五、標準法規(guī)

中國國家電子級超純水規(guī)格 GB/T11446.1-1997