日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù)，使其低電壓性能大大提升，同時升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報告導(dǎo)出等功能，使其操作也變得更為簡單。
日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800
HexBias偏壓鎢燈絲電子槍
優(yōu)異的高、低電壓性能
高靈敏度五分割背散射電子探測器
可變壓力二次電子探測器（高、低真空可用）
全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能
全自動燈絲設(shè)定和合軸
報告導(dǎo)出和圖片處理
可集成的EDS
簡單方便的維護(hù)
應(yīng)用
材料科學(xué)
生命醫(yī)學(xué)
食品衛(wèi)生
半導(dǎo)體電子元器件
汽車制造
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
| 加速電壓 | 0.3kV – 30kV |
| 分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
| 15.0nm@1kV (SE) | |
| 4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
| 放大倍率 | 5x – 300,000x（底片倍率） |
| 7x – 800,000x（顯示器倍率） | |
| 探測器 | 二次電子探測器，高靈敏度無分割背散射電子探測器 |
| 可變壓力探測器UVD 2.0* | |
| 低真空可變壓力范圍 | 6 – 650Pa |
| 樣品臺（三軸馬達(dá)） | X: 0 - 100 mm |
| Y: 0 – 40 mm | |
| Z: 5 – 65 mm | |
| R: 0 – 360° | |
| T: -20° - +90° |
