價格電議
氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器, 又稱減壓閥門, 是將高壓氣體降為低壓氣體, 并保持輸出氣體的壓力和流量穩(wěn)定不變的調(diào)節(jié)裝置. 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體管路或?qū)嶒炇覊毫刂? 減壓器本身如果出現(xiàn)泄漏, 會直接導(dǎo)致高壓氣體泄漏, 一旦氣體屬于有毒有害氣體, 將導(dǎo)致嚴(yán)重的生產(chǎn)事故! 因此減壓器在出廠前必須經(jīng)過嚴(yán)格的泄漏檢測, 氦質(zhì)譜檢漏法與傳統(tǒng)泡沫法對比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點, 在真空模式下, 可以顯示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于減壓閥檢漏
上海伯東減壓器檢漏客戶案例: 某公司生產(chǎn)減壓器, 主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 經(jīng)過伯東*, 終選擇前級泵為干泵的移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
減壓器檢漏方法: 選用氦質(zhì)譜檢漏儀真空模式進行檢漏, 減壓器直接與檢漏儀進氣口相連, 用噴槍在懷疑有漏的地方進行吹掃, 鑒于客戶信息保密, 更詳細的減壓器檢漏應(yīng)用案例
上海伯東德國 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
| 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 滿足半導(dǎo)體行業(yè)要求! |
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用*:
| 半導(dǎo)體用配管配件檢漏 |
| 流量計檢漏 |
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. *氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
減壓器檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
減壓器檢漏用氦質(zhì)譜檢漏儀
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