桌上型激光直寫光刻系統(tǒng)Dilase 250 主要優(yōu)勢
小巧桌上型系統(tǒng)
掩膜板制作及激光直寫
375nm 或405nm 激光源
兼容所有光刻膠
高深寬比: 1 x 20
桌上型激光直寫光刻系統(tǒng)Dilase 250
主要特點
系統(tǒng)尺寸: 550 x 670 x 700mm
電腦操控介面
可選激光源: 375 或405nm
帶使光束成形及均化的光學(xué)組件
一種光束尺寸可選
高分辨率視頻定位系統(tǒng)
支持文件格式: LWI (Kloé 設(shè)計格式),DXF 和GDS2
自動聚焦設(shè)定
自帶設(shè)計軟體: Kloé Design V.2
兩種工作模式: 向量及掃描模式
技術(shù)指標(biāo)
線性直寫速率：> 100 mm/s
樣品平臺移動分辨率：100 nm
樣品平臺移動重復(fù)性：100 nm
直寫范圍：1 –4 寸晶圓
基底厚度：150 μm – 5 mm
激光光斑尺寸：1 μm – 50 μm
物理尺寸(Form factor) ：zui少 10
標(biāo)準(zhǔn)多層對準(zhǔn)精度：1 μm
浙江揚清芯片技術(shù)有限公司（YoungChip）是一家專注于微流控芯片實驗室整體解決方案的企業(yè)，技術(shù)力量雄厚，生產(chǎn)設(shè)備*，檢測手段齊全，產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司可提供整套微流控芯片生產(chǎn)線， 包括CNC 數(shù)控微加工儀器、精密激光加工系統(tǒng)、光刻加工系統(tǒng)、塑料芯片注塑系統(tǒng)和微流控芯片熱壓鍵合系統(tǒng)， 可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片， 如玻璃、石英、硅、PDMS 和PMMA 等。為國內(nèi)外高校、科研院所、企事業(yè)單位等研發(fā)機(jī)構(gòu)提供*的微流控相關(guān)的產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)。
主營產(chǎn)品包括： ① 微流控芯片的設(shè)計、開發(fā)與加工服務(wù)； ②微流控芯片實驗室組建及芯片技術(shù)培訓(xùn)； ③ 微流控芯片的耗材、配件及相關(guān)設(shè)備； ④ 模塊化的芯片溫度控制系統(tǒng)、流體操控系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)； ⑤ 基于微流控技術(shù)平臺的POCT 快速檢測系統(tǒng)。產(chǎn)品涵蓋醫(yī)療生化診斷、環(huán)境監(jiān)測、食品安全分析檢測、化學(xué)合成等幾大應(yīng)用領(lǐng)域。
