一、技術(shù)參數(shù)：
結(jié)構(gòu)形式 正排量風(fēng)機(jī)
體積流量 110 止于 15.570 m3/h
介質(zhì) 空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體
輸送 無油
FINAL VACUUM 大表壓（單位：10^-5mbar）
PRESSURE DIFFERENCE 大表壓（單位：10^-5 - 200mbar）
二、概述：
適用于工業(yè)高真空技術(shù)的正排量風(fēng)機(jī)。
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可輸送中性（HM 設(shè)計(jì)）和腐蝕性（CM 設(shè)計(jì)）氣體，用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點(diǎn)是高能效和高可靠性。
適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：
AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 110 m³/h 到 15,340 m³/h，適用的壓力范圍在 10^-5 mbar 壓力以內(nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：
通過 ATEX 0 區(qū)認(rèn)證（內(nèi)部）
4 種不同電機(jī)變體，實(shí)現(xiàn)好選擇
機(jī)械負(fù)載較高（高達(dá) 150 mbar），因此縮短了泵送時(shí)間
僅消耗極少水、氮和油
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實(shí)現(xiàn)較大的控制范圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或從 1.240 到 2.900 rpm）
可選擇縱向或水平輸送方向
適用于中性氣體的 HM 系列版本：
AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸，在 10^-5 mbar 的真空壓力條件下，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：
4 種不同電機(jī)變體，實(shí)現(xiàn)好選擇
電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)機(jī)械強(qiáng)度較高（HM 系列高達(dá) 230 mbar），因而大幅縮短泵送時(shí)間
電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)耗水量、耗氮量低
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實(shí)現(xiàn)較大的控制范圍，各項(xiàng)參數(shù)針對 AERZEN 電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行過調(diào)整，卓有成效
可選擇縱向或水平流動方向
三、性能：
AERZEN 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)大幅縮短泵送時(shí)間，從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進(jìn)步。
設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)
AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機(jī)頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑，PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)在輸送室和軸承室配有的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個(gè)配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者，中和室可以用密封氣體沖洗，以實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的密封效果。 一體化密閉式電機(jī)可確保對驅(qū)動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道，從而可以從技術(shù)上實(shí)現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。
四、應(yīng)用：
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)始終結(jié)合前級泵使用*。
此前級泵在大氣壓力條件下開始運(yùn)行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)，然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機(jī)作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用參數(shù)集時(shí)，前級泵也可以在大氣壓力條件下運(yùn)行。
