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YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510

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公司名稱柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2020/8/5 11:54:02
訪問(wèn)次數(shù)624

產(chǎn)品標(biāo)簽:

等離子灰化機(jī)等離子灰化機(jī)YAMATO雅馬拓

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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司專注于為科研工作者和質(zhì)量控制人員提供一站式實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品與配套服務(wù)，致力于成為科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的變革者。公司通過(guò)自主研發(fā)、品牌運(yùn)營(yíng)、品牌代理、實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)規(guī)劃方案等方式為生物醫(yī)藥、新材料、新能源、化工化學(xué)、精細(xì)化工、食品日化、分析檢測(cè)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室提供綜合服務(wù)，覆蓋客戶的研發(fā)準(zhǔn)備、研發(fā)過(guò)程、研發(fā)后期、生產(chǎn)質(zhì)控等各個(gè)階段，提供“一站式”有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品和服務(wù)，是國(guó)內(nèi)科學(xué)服務(wù)提供商。（本公司產(chǎn)品都用于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，不用于人體）

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YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制

YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510 產(chǎn)品信息

YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510

高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm

低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510用途

·去除光刻膠

·部品清洗

·界面活性處理

·微研磨

·硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)

特征

·大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔

·小型一體化設(shè)計(jì)

·操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）

規(guī)格

型號(hào)		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控制部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調(diào)方式	自動(dòng)協(xié)調(diào)
反應(yīng)部	反應(yīng)腔	石英 Φ215×305mm
	反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（O2／CF4）
	控制	手動(dòng)	觸摸屏自動(dòng)控制
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規(guī)格書
重量		約60kg	參照規(guī)格書
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A