Edwards nXDS 渦旋真空泵在傳統(tǒng) XDS渦旋泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，提高了抽速，降低了極限壓力、功耗和噪音。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 渦旋泵還采用了新的端部密封技術(shù)，顯著延長了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 渦旋泵可*進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。

渦旋真空泵特點(diǎn)

真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長

簡(jiǎn)單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計(jì)相結(jié)合，只需低程度的特殊工具，就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，因此可降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

改進(jìn)了電機(jī)和傳動(dòng)效率，可降低功耗和運(yùn)行成本

*的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

應(yīng)用

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級(jí)渦輪泵

超高速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負(fù)載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

研發(fā)

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學(xué)儀器

技術(shù)規(guī)格