封閉式離子源氣體分析儀憑借優(yōu)于1ppm的檢測(cè)極限，mTorr壓力下的直接采樣，以及用戶(hù)方便操作的Windows軟件包，CIS系統(tǒng)將滿(mǎn)足嚴(yán)苛的制程。如：在線(xiàn)過(guò)程監(jiān)控、使用點(diǎn)工藝氣體純度驗(yàn)證、高真空殘余氣體分析和工藝設(shè)備泄露檢測(cè)等領(lǐng)域。

封閉式離子源氣體分析儀特點(diǎn)

100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選

1ppm 檢測(cè)極限

操作壓力可至10mTorr

檢測(cè)極限1 × 10E−12 Torr

RGA Windows & LabVIEW軟件包

現(xiàn)在可更換電子倍增器和燈絲

RGA和真空系統(tǒng)封閉式

制程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在線(xiàn)過(guò)程監(jiān)控和診斷。殘余氣體分析儀（RGA）有兩條通路：一條用于監(jiān)測(cè)基本真空的高導(dǎo)電通路和一條用于監(jiān)測(cè)工作壓力下工藝的減壓通路。減壓通道擁有一個(gè)小孔，其設(shè)計(jì)用于以下壓力之一下工作：0.01、0.1、1、10Torr。它將樣品的壓力降低到RGA工作的壓力（約10E-6Torr）。這種降壓是有一個(gè)渦輪分子泵和一個(gè)隔膜泵組成的真空系統(tǒng)維持的，兩個(gè)泵都是無(wú)油真空泵，不會(huì)污染工藝過(guò)程。

此系統(tǒng)包括一個(gè)RGA、旁通閥總成和三通、ECU控制器、渦輪分子泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。系統(tǒng)軟件可在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、柱狀圖分析和壓力、時(shí)間的模式。

法拉第杯和電子倍增器都是標(biāo)準(zhǔn)的配置，電子倍增器可提供更高的靈敏度和掃描速度。PPR系統(tǒng)在發(fā)貨時(shí)已經(jīng)*組裝并且校準(zhǔn)，可直接連接到真空腔室。