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封閉式離子源氣體分析儀

參考價	￥ 27
訂貨量	≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱成都四洋科技有限公司
品牌
型號
所在地成都市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2020/9/1 18:21:58
訪問次數(shù)627

產(chǎn)品標簽:

離子源氣體分析儀性能離子源氣體分析儀型號離子源氣體分析儀款式離子源氣體分析儀用途供應(yīng)離子源氣體分析儀

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公司介紹主營產(chǎn)品

成都四洋科技有限公司總部位于成都經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè)，公司主要有真空和低溫技術(shù)兩大業(yè)務(wù)板塊。

真空領(lǐng)域主要以代理歐美為主，包括真空泵、真空計、膜厚儀、氣體分析、流體控制、壓力控制、鍍膜靶材等全系列產(chǎn)品線，并提供經(jīng)營產(chǎn)品線的全套維保服務(wù)。

低溫技術(shù)領(lǐng)域提供從常溫到-273℃范圍溫度解決方案，主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機、低溫冷阱、低溫真空干燥機、低溫制冷機、Polycold深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)沖擊測試系統(tǒng)、超低溫冷頭等。

行業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體設(shè)計與制造

太陽能光伏

光學(xué)鍍膜設(shè)備

科研院校實驗與分析

工業(yè)設(shè)備制造

制藥生產(chǎn)

激光

光通訊

光學(xué)玻璃

展開顯示更多內(nèi)容

測量機，真空泵，分子泵，渦旋泵

產(chǎn)品簡介在線詢價

儀器種類	便攜式

封閉式離子源氣體分析儀特點：
100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選
1ppm 檢測極限
操作壓力可至10mTorr
檢測極限1 × 10E?12 Torr

RGA Windows & LabVIEW軟件包

封閉式離子源氣體分析儀產(chǎn)品信息

封閉式離子源氣體分析儀憑借優(yōu)于1ppm的檢測極限，mTorr壓力下的直接采樣，以及用戶方便操作的Windows軟件包，CIS系統(tǒng)將滿足嚴苛的制程。如：在線過程監(jiān)控、使用點工藝氣體純度驗證、高真空殘余氣體分析和工藝設(shè)備泄露檢測等領(lǐng)域。

封閉式離子源氣體分析儀特點

100、200、300amu質(zhì)量數(shù)可選

1ppm 檢測極限

操作壓力可至10mTorr

檢測極限1 × 10E−12 Torr

RGA Windows & LabVIEW軟件包

現(xiàn)在可更換電子倍增器和燈絲

RGA和真空系統(tǒng)封閉式

制程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計用于在線過程監(jiān)控和診斷。殘余氣體分析儀（RGA）有兩條通路：一條用于監(jiān)測基本真空的高導(dǎo)電通路和一條用于監(jiān)測工作壓力下工藝的減壓通路。減壓通道擁有一個小孔，其設(shè)計用于以下壓力之一下工作：0.01、0.1、1、10Torr。它將樣品的壓力降低到RGA工作的壓力（約10E-6Torr）。這種降壓是有一個渦輪分子泵和一個隔膜泵組成的真空系統(tǒng)維持的，兩個泵都是無油真空泵，不會污染工藝過程。

此系統(tǒng)包括一個RGA、旁通閥總成和三通、ECU控制器、渦輪分子泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的Windows軟件程序。系統(tǒng)軟件可在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、柱狀圖分析和壓力、時間的模式。

法拉第杯和電子倍增器都是標準的配置，電子倍增器可提供更高的靈敏度和掃描速度。PPR系統(tǒng)在發(fā)貨時已經(jīng)*組裝并且校準，可直接連接到真空腔室。

關(guān)鍵詞：氣體分析儀監(jiān)控系統(tǒng) 隔膜泵無油真空泵