Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數(shù)器
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學(xué)鏡片組件，液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件（光學(xué)傳感器）及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學(xué)傳感器采用美國進口整機，吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵，并可通過流量傳感器來調(diào)節(jié)氣泵的運行流量，使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根椐德國同類產(chǎn)品進行改進，并配有防靜電軟管與主機連接，其用于排氣及吸氣過濾的囊式過濾器，內(nèi)部濾材為德國進口，從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。
主要技術(shù)性能參數(shù)
1. 檢測精度：0.3微米（0.1微米可訂制）
2. 檢測通道：0.3，0.5，0.71.0，3.0，5.0，7.0，10.0微米八通道
（可定制：0.1，0.15，0.2，0.25，0.3，0.5，0.7，1.0微米）
3. 計數(shù)效率：0.3微米百分之五十±20%（前一個粒徑通道），0.5微米100±10%（第二粒徑通道）
4. 采樣流量：28.3L每分鐘±5，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整
5.采樣時間：1S—24H
6. 重復(fù)性：相對標(biāo)準(zhǔn)偏差≦10%
7. 粒徑準(zhǔn)確度：相對誤差≦10%
8. 自凈時間：≦10min
9. 光源：激光二極管，經(jīng)過特殊工藝處理優(yōu)化理論壽命20年（MTT）或壽命大于40000小時
10. 操作界面：彩色觸摸屏顯示控制屏，便于操作和設(shè)定，能同時顯示八個通道的數(shù)據(jù)
11. 分辨率：320*240，屏幕數(shù)據(jù)縮功能
12. 允許采樣濃度：≧0.3微米≦1000000立方英尺損失≦10%或≦500000立方英尺損失≦5
13. 檢測的空氣中不得含有腐蝕性氣體
14. 外形尺寸：280*260*260（mm）
15. 重量：7KG
16. 功耗：50W
17. 電源：AC 100~240 ,50—60HZ,16.8V內(nèi)置鋰電池、DC16—24V
18. 數(shù)據(jù)存儲：3000組
19. 表面材質(zhì)：SUS316L
20. 連續(xù)工作時間：8小時
21. 零計數(shù): ≦10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0
22.執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：ISO21501-4:2018、GB/T6167-2007、JJF1190-2008
23. 采樣口徑：1/4”Flaretek TM
24. 使用環(huán)境條件：溫度：10-35℃ ，濕度：20-75%RH,大氣壓：86-106kPa
25. 輸出方式：內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議
26. 語言：中、英、德、日等多國語言
27. 保修：二年 （儀器自身質(zhì)量）
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