臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 [1] 。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是：當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測量的影響。

臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

規(guī)格

測量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)

測量功能 二維表面輪廓測量

可選三維測量/

樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

探針傳感器 低慣量傳感器 （LIS 3）

探針壓力 使用LIS 3傳感器：1 至 15mg

低作用力（選配） 使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg

探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm

高徑比 （HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客戶要求定制針尖

樣品X/Y載物臺(tái) 手動(dòng) X-Y 平移：100mm （4 英寸）

機(jī)動(dòng)X-Y 平移：150mm （6 英寸）

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn);

機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn);

計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器

軟件 Vision64操作及分析軟件；

應(yīng)力測量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；

縫合軟件；三維掃描成像軟件

減震裝置 減震裝置可用

掃描長度范圍 55mm （2英寸）

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) *多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)

樣品厚度 50mm （2英寸） 晶圓尺寸 200mm （8英寸）

臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺(tái)階上

垂直范圍 1mm （0.039英寸）

垂直分辨率 1Å （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

溫度范圍 運(yùn)行范圍20 到 25°C （68到77°F）

濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝

系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;