技術(shù)參數(shù):
1、目標(biāo)分離:15?75毫米;
2、總放大倍率:100倍;
3、觀(guān)察照明器:紅色LED(λ= 633 nm);
4、X,Y平臺(tái)移動(dòng)范圍:±5毫米;
5、θ調(diào)整:±5°
6、主體電源和水銀燈:交流100V 50 / 60Hz 15A
7、真空源:低于21.3 Kpa(大氣壓為-80 Kpa)
8、鏡片:積分鏡
9、汞燈:250W超高壓蒸汽汞燈
10、有效接觸面積:大φ100毫米
11、強(qiáng)度分布:±5%以下
12、照度:20 mW / cm 2 (405納米)
13、曝光時(shí)間控制:數(shù)字計(jì)時(shí)器和旋轉(zhuǎn)螺線(xiàn)管
14、汞燈照明裝置:交流110V
三、產(chǎn)品特點(diǎn):
經(jīng)濟(jì),緊湊和高級(jí)性能
在視場(chǎng)中查看兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的融合圖像。
用于曝光的積分鏡。
LED照明器
產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字: 光刻機(jī) 掩膜曝光光刻機(jī) 光刻系統(tǒng) Mask Aligner |