二、Tergeo系列等離子清洗機的特點
1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2、7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作；
3、標配75W版本，可選150W版本；
4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。
三、技術參數
1、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程，總共有20個程序，每個程序有3個清潔步驟。
2、反應腔體
1）腔體材質：圓柱形石英玻璃艙；
2）腔體容積：5.6L；
3）腔體尺寸：內徑：160毫米，深度：280毫米。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz；
2）射頻功率：標配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調，可選0~150W；。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度。
2）外置電極設計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC；可選配三路MFC；
2）質量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。
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