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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

Vion Plasma FIB 儀器

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  • 公司名稱廣州佳??茖W(xué)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/8/25 15:28:11
  • 訪問(wèn)次數(shù)346
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廣州思博科技設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事各類分析檢測(cè)儀器設(shè)備銷售,及其應(yīng)用技術(shù)推廣的*企業(yè)。我們經(jīng)營(yíng)的產(chǎn)品包括X射線分析儀器、電子顯微分析儀器、無(wú)損檢測(cè)(探傷)儀、顆粒(多孔)材料檢測(cè)儀器、材料試驗(yàn)機(jī)、熱分析儀、光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀、流變儀、粘度計(jì)、硬度計(jì)、電化學(xué)分析儀器、光學(xué)儀器、測(cè)量(計(jì)量)儀器、顯微鏡制樣設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室家具、前處理設(shè)備、配件與耗材等諸多品類;主要代理SHIMADZU、FEI、QUANTACHROME、 THERMO、GE、TA、RENISHAW、AMETEK(PAR、SOLARTRON)、KOSAKA、ITW、ZEISS、LEICA、ARCHIMEDES、AST、H;用戶群涵蓋新技術(shù)、新能源、新材料、電池、照明、家電、信息、電子、陶瓷、建材、汽車、五金、機(jī)械、化工、涂料、塑膠、玩具、印刷、食品、醫(yī)藥、紡織、服裝、質(zhì)檢、農(nóng)檢、商檢、藥檢、科研、院校等眾多行業(yè)領(lǐng)域。
x射線衍射儀
Vion Plasma FIB 儀器
Vion Plasma FIB 儀器 產(chǎn)品信息

 

產(chǎn)品概述:
Vion PFIB 是一款具有高精度、高速度切割和銑蝕能力的儀器。 其具有選擇性銑蝕所關(guān)注區(qū)域的能力。 此外,PFIB 可以選擇性沉積帶圖案的導(dǎo)體和絕緣體。 高速銑蝕和精密控制的結(jié)合可確保該系統(tǒng)以多種方法應(yīng)用于集成電路的制造,如:
• 凸起物、焊線、TSV 和晶片堆疊失效分析
• 般移除封裝和材料,實(shí)現(xiàn)嵌入芯片塊的失效分析和故障隔離
• 適用于封裝級(jí)流程監(jiān)控和開發(fā)
• 封裝部件和 MEMS 設(shè)備的缺陷分析

主要優(yōu)點(diǎn):
• 借助較傳統(tǒng)鎵離子 FIB 快 20 倍的銑蝕速度提高生產(chǎn)效率
• 快速精確的橫截面操作可揭示缺陷和表面下方特征
• 銑蝕和成像射束電流變化范圍寬廣(從數(shù) pA 至 1 μA 以上)
• 使用沉積化學(xué)來(lái)保護(hù)表面特征
• 可選的電荷中和器功能可實(shí)現(xiàn)對(duì)帶電結(jié)構(gòu)進(jìn)行切片
• 可選的背面硅使用、同軸氣體輸送噴嘴
• 通用硬件和軟件架構(gòu)以及其他 FEI FIB、SEM 和 DualBeam 儀器

關(guān)鍵詞:芯片
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