儀器簡介：

  LEXT 4000備有常規(guī)顯微鏡的功能，并有BF，DF，DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長半導(dǎo)體激光為光源,通過顯微鏡內(nèi)高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描，獲得水平分辨率高達(dá)0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動和5nm光柵控制的聚焦裝置，運(yùn)用共聚焦技術(shù)（Confocal），逐層獲取樣品各個二維圖像和焦面的縱向空間坐標(biāo)。經(jīng)計(jì)算機(jī)處理,將各個焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實(shí)形態(tài)(近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將采樣數(shù)據(jù)運(yùn)算后,可獲得亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚，幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)?？勺鳛楦呔葴y量設(shè)備，符合國際計(jì)量追溯體系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。


主要特點(diǎn)：

精益求精的測量性能

1> 輕松檢測尖銳角

采用了有著高N.A. 的專用物鏡，和能限度發(fā)揮405 nm 激光性能的專用光學(xué)系統(tǒng)，LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

2> 克服反射率的差異

LEXT OLS4000 采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個共焦光學(xué)系統(tǒng)，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。

3> 穩(wěn)定的測量環(huán)境

為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量，LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機(jī)構(gòu)”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè)，不需要專用的防震平臺。

4> 更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凸凹

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實(shí)現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

5> 對應(yīng)大范圍觀察

在高倍率影像觀察中，視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了縫合功能，最多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和大視場范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對該大視場影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測。

理想的操作環(huán)境

1> 通過ID 管理來強(qiáng)化自定義和安全性

操作員可以使用自己的ID 登錄系統(tǒng)，對影像數(shù)據(jù)庫和操作環(huán)境進(jìn)行自定義。報告和影像上會顯示ID 號碼，這樣，誰、何時創(chuàng)建或拍攝等信息便一目了然。此外，還可以對每個ID 設(shè)置級別，管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。

2> 即使是初次使用者也能安心操作的向?qū)Чδ?

LEXT OLS4000 搭載了詳細(xì)的向?qū)Чδ?，即使是初次使用者也能立即操作儀器，不需要在閱讀使用說明書或培訓(xùn)上花費(fèi)時間。也可以對向?qū)Чδ苓M(jìn)行自定義。

3> 不會在觀察中“迷路”的宏觀圖

一直以來，由于高倍率觀察時的視場變窄，經(jīng)常會有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發(fā)生。LEXT OLS4000 搭載了宏觀圖功能，始終顯示低倍率觀察時的大范圍影像，在影像上指出“現(xiàn)在在這里”。

4> 避免接觸和損壞樣品、自動調(diào)整影像的電動物鏡轉(zhuǎn)換器

為了避免切換物鏡時損壞樣品，LEXT OLS4000 搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的電動物鏡轉(zhuǎn)換器。切換物鏡時，物鏡轉(zhuǎn)換器自動退避，不會接觸樣品。不僅如此，電動物鏡轉(zhuǎn)換器還能同時自動對準(zhǔn)焦點(diǎn)和影像中心，調(diào)整合適的亮度，實(shí)現(xiàn)了輕松的倍率變換操作。

5> 能提供熟練操作者描繪水平的INR 算法

奧林巴斯根據(jù)長年積累的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)，成功的在設(shè)備中嵌入了相當(dāng)于熟練操作者水平的異常值判斷基準(zhǔn)。這就是新搭載在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。

6> 實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)建報告時必需的快速和簡明易懂

激光顯微鏡可以代替相關(guān)人員，快速而清楚地把觀察和測量結(jié)果制作成報告。LEXT OLS4000在測量結(jié)束后，只要一個點(diǎn)擊就可以完成創(chuàng)建報告任務(wù)。同時，LEXT OLS4000 還備有充實(shí)的編輯功能，可以自由自在地定制各種報告模板。

的粗糙度分析能力

1> 將激光納入表面粗糙度測量儀的標(biāo)準(zhǔn)中

作為表面粗糙度測量儀的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100 mm 的粗糙度。

2> 微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比觸針的針尖直徑更細(xì)微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測量。

3> 非接觸

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到觸針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在觸針上，無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡，不會影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測量樣品的表面粗糙度。

4> 微細(xì)處的測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其觸針無法進(jìn)入微小領(lǐng)域，所以不能對微小領(lǐng)域進(jìn)行測量。而激光顯微鏡可以正確定位，能輕松測量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。

3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規(guī)格