儀器特點 ；

n 移動橋式精密花崗巖架構(gòu)，高精度，高穩(wěn)定性

n 高精度0.1um分辨率進口開放光柵系統(tǒng)

n 四軸CNC控制系統(tǒng)，全自動測量

n 全閉環(huán)伺服運動控制系統(tǒng)，速度快、精度高

n 搖桿/鼠標(biāo)操作，簡單易用

n 程控5環(huán)8區(qū)LED冷光源，平行輪廓光源，同軸光源

n 根據(jù)客戶工件的具體情況，提供不同的照明組合

n 全自動高精度變倍鏡頭

n 可聚焦測高，可加裝接觸式測頭和激光測頭模組

n 可以按照客戶需求提供定制化設(shè)計

基本參數(shù):

設(shè) 備 名 稱 ： 高精度視覺測量系統(tǒng)

型 號 ： G60S

行 程 （mm） ： 600×700×200

外形尺寸（mm）： 1320×1710×1650

整機重量（kg）： 1550

機臺承重（kg）：80

測 量 精 度 ：E2XY=（3+L*/200）µm ； E1Z=（5+L*/100）µm ； *L表示測量長度，以毫米為單位

運 行 速 度 ： VXY=500mm/s ；Vz=100mm/s

工 作 環(huán) 境 ：溫度：20℃±5℃ ；溫度變化：<2℃/hr ；濕度：30%～60%

電 源 要 求 ：電壓：220V 50/60 Hz ；功率：1800W ；用電設(shè)備要求接地可靠：接地電阻小于4Ω。