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薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱鉑悅儀器（上海）有限公司
品牌
型號FSM 500TC
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2021/11/5 17:19:23
訪問次數(shù)252

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公司介紹主營產(chǎn)品

鉑悅儀器自 2004年成立以來，憑借與各大儀器知品牌的戰(zhàn)略合作關(guān)系，以及不斷優(yōu)化公司自身經(jīng)營管理，提高服務(wù)質(zhì)量，成為中國國內(nèi)的儀器供應(yīng)商。鉑悅儀器所提供的產(chǎn)品均屬于高科技行業(yè)，產(chǎn)品包括高精度的分析儀器、檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件，這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、工業(yè)、半導(dǎo)體、太陽能、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、生物、能源、電子、石化等各個領(lǐng)域并服務(wù)于各大院校、研究所、檢測機構(gòu)、部門等。

鉑悅儀器不僅擁有高品質(zhì)的產(chǎn)品，更培養(yǎng)了專業(yè)的銷售、技術(shù)和售后服務(wù)團(tuán)隊，本著客戶*的原則，從客戶的實際需求出發(fā)，鉑悅儀器為每一位客戶量身訂制適合的綜合解決方案，并提供持續(xù)而良好的售后服務(wù)，由此也獲得了廣大客戶的信任與認(rèn)可。

鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海，并在北京、廣州、成都等共設(shè)立了七個辦事處，在能及時引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時，保證了鉑悅儀器能快速、有效的為各地的客戶提供良好的服務(wù)。

TEL:13381652059

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高精度的分析儀器，檢測儀器和生產(chǎn)設(shè)備，以及配套的耗材和配件

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)品描述：FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性

薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡介:
FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，LED,數(shù)據(jù)存儲，微機電和面板產(chǎn)業(yè)。這些特性有助于檢測到諸如薄膜開裂，空隙，突起等可能在生產(chǎn)過程中導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。在新工藝和材料投入生產(chǎn)前，F(xiàn)SM500TC作為檢驗其成熟性的工具，起著重要的作用。

FSM 500TC 200mm簡潔的用戶界面，使其很容易被操作人員或者偶爾使用的研發(fā)人員在研發(fā)或者生產(chǎn)環(huán)境下進(jìn)行室溫和高溫環(huán)境下的應(yīng)力測試。

主要設(shè)計特性：
· 多用途:
兼容50-200mm晶圓，無需要更換樣品載片臺和夾具，可以在室溫和高溫下測試晶圓應(yīng)力和晶圓彎曲。
· 樣品容易放置和回收
通過使用定位銷使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內(nèi)進(jìn)行重復(fù)操作
· 自動切換雙波段激光
具有專li的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進(jìn)行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，HighK,金屬等薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個或者多個運行在不同的升溫速率和退火溫度條件下，進(jìn)行薄膜材料的熱穩(wěn)定性檢測。
· 數(shù)據(jù)管理和報告
測試結(jié)果可用應(yīng)力vs溫度，應(yīng)力vs時間, 或者晶弓vs溫度為坐標(biāo)生成圖表，方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報告。熱膨脹系數(shù)計算應(yīng)用是FSM500TC的標(biāo)準(zhǔn)功能。