MF 系列 176 系列 — 測(cè)量顯微鏡
觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容,具有高聚焦重復(fù)性的高度測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn) |
★可觀察清晰無(wú)閃爍正像,且視場(chǎng)開(kāi)闊。 ★測(cè)量精度在同類設(shè)備中(符合JIS B 7153標(biāo)準(zhǔn))。 ★使用ML 系列,專門(mén)為MF 系列設(shè)計(jì)的高NA物鏡(長(zhǎng)工作距離型)。 ★照明裝置(反射/透射) 可選用高亮度LED 燈泡或鹵素?zé)襞荨?br>★利用可變孔徑光闌(反射/透射) 可進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量。 ★各類尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái),達(dá)到400×200mm。 ★快速釋放裝置便于在測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)。 ★粗調(diào)/細(xì)調(diào)進(jìn)給手柄作為標(biāo)準(zhǔn)配置安裝在立柱兩側(cè),便于精確聚焦與觀察測(cè)量,不受用左手或右手習(xí)慣的影響。 ★高倍目鏡觀察,達(dá)2000X。 ★標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量顯微鏡,配有種類繁多的可選附件,包括Vision Unit 影像裝置與各種CCD數(shù)碼相機(jī)。 |
產(chǎn)品尺寸 |
不帶z軸測(cè)量 | 型號(hào) | MF-A1010C | MF-A2010C | MF-A2017C | MF-A3017C | MF-A4020C |
貨號(hào) | 176-662* | 176-663* | 176-664* | 176-665* | 176-666* | |
帶有z軸測(cè)量 | 型號(hào) | MF-B1010C | MF-B2010C | MF-B2017C | MF-B3017C | MF-B4020C |
貨號(hào) | 176-682* | 176-683* | 176-684* | 176-685* | 176-686* | |
目鏡鏡筒(必選) | 可選單目或雙目鏡筒 (俯視角角度:25o);所有型號(hào)帶有標(biāo)準(zhǔn) TV 攝像機(jī)接口; 分劃板 (交叉十字虛線、線寬:5μm) ;光路切換 (觀測(cè)/TV 攝像機(jī)=50/50) | |||||
觀察圖像 | 正像 | |||||
觀測(cè)方法 | BF 觀測(cè) | |||||
屈光度可調(diào)目鏡(可選) | 10X (視場(chǎng)數(shù):24), 15X, 20X 注:?jiǎn)文跨R筒:1 個(gè)10X 目鏡、雙目鏡筒:2 個(gè)10X 目鏡為標(biāo)配 | |||||
物鏡 | ML 物鏡 3X (標(biāo)準(zhǔn)配置), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | |||||
z軸 | 被測(cè)物高度 | 150mm | 220mm | |||
調(diào)焦方法 | 同軸軸粗/微調(diào)、左右手柄 (粗調(diào):30mm/圈、微調(diào):0.2mm/圈) | |||||
照明系統(tǒng) | 必需LED 照明或鹵素?zé)襞菡彰?/td> | |||||
照明濾鏡 | 標(biāo)準(zhǔn)配置提供一個(gè)GIF 濾光鏡 (可用于透射和反射照明) | |||||
工作臺(tái) | 測(cè)量范圍 | 100×100 | 200×100 | 200×170 | 300×170 | 400×200 |
邊界尺寸 | 280×280 | 350×280 | 410×342 | 510×342 | 610×342 | |
有效載物玻璃尺寸 | 180×180 | 250×150 | 270×240 | 370×240 | 440×240 | |
旋轉(zhuǎn)角度 | — | ±5o (左) | ±3o (左) | |||
負(fù)載(玻璃臺(tái)面) | 10kg | 20kg | 15kg | |||
快速釋放裝置 | X 和Y 軸 (標(biāo)配) | |||||
調(diào)零開(kāi)關(guān) | X 和Y 軸 (標(biāo)配) ,(MF-B 型,Z 軸也為標(biāo)配) | |||||
長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng) | 高精度光柵尺*1 | |||||
測(cè)量精度*2(X軸和Y軸:無(wú)負(fù)載) | (2.2+0.02L) μm, L:為測(cè)量長(zhǎng)度 (mm) | |||||
數(shù)顯計(jì)數(shù)器 | 最小讀數(shù) | 可在1/0.5/0.1μm 間轉(zhuǎn)換 | ||||
顯示軸 | X 和Y 軸,(MF-B 型、X, Y 和Z 軸) | |||||
功能 | 調(diào)零,方向轉(zhuǎn)換和RS-232C 輸出 | |||||
外部尺寸 | 562(W)×730(D)× 667(H) | 6248(W)×745(D)× 667(H) | 632(W)×892(D)× 782(H) | 682(W)×892(D)× 782(H) | 757(W)×907(D)× 782(H) | |
重量 | 65.5kg | 69.5kg | 130kg | 138kg | 144kg | |
控制器尺寸和重量 | 114(W)×330(D)×90.5(H)mm 2.0kg | |||||
能耗(照明系統(tǒng)) | LED:65W 鹵素?zé)襞荩?20W |
X和Y軸(2軸型) | 型號(hào) | MF-A1010D | MF-A2010D | MF-A2017D | MF-A3017D | MF-A4020D |
貨號(hào) | 176-861*1 | 176-862*1 | 176-863*1 | 176-864*1 | 176-865*1 | |
X、Y和Z軸(3軸型) | 型號(hào) | MF-B1010D | MF-B2010D | MF-B2017D | MF-B3017D | MF-B4020D |
貨號(hào) | 176-886*1 | 176-867*1 | 176-868*1 | 176-869*1 | 176-870*1 | |
觀察圖像 | BF(亮視場(chǎng))/正像 | |||||
目鏡 | 屈光度調(diào)節(jié) | 10X(視場(chǎng)數(shù)24),15X,20X 注:?jiǎn)文客茬R:一個(gè)10X目鏡(標(biāo)配),雙目筒鏡:2個(gè)10X目鏡(標(biāo)配) | ||||
物鏡 | ML系列3X物鏡(標(biāo)配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | |||||
照明轉(zhuǎn)置(二選一) | LED照明裝置 | 內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 反射照明:科勒照明,可調(diào)孔徑光闌,白色LED光源,無(wú)極亮度調(diào)節(jié) 控制裝置:電源ON/ OFF開(kāi)關(guān)(主開(kāi)關(guān)),100 - 240V AC電源輸入連接器 | ||||
鹵素照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 反射照明:科勒照明,可調(diào)孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 控制裝置:電源ON/ OFF開(kāi)關(guān)(主開(kāi)關(guān)),100 - 240V AC電源輸入連接器 | |||||
XY軸 | 測(cè)量范圍 | 100×100mm | 200×100mm | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
Z軸 | 工件高度 | 150mm | 220mm | |||
測(cè)量精度*2 | (X和Y軸無(wú)負(fù)載) | (2.2+0.02L) μm L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | ||||
數(shù)顯計(jì)數(shù)器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1μm可切換 |
產(chǎn)品選件 |
●MF-U 電動(dòng)產(chǎn)品和MF-U 電動(dòng)LAF 產(chǎn)品必須選擇鏡頭轉(zhuǎn)塔。通過(guò)選擇電動(dòng)轉(zhuǎn)塔,安裝配備選件Vision Unit 的測(cè)量顯微鏡,可以改變和監(jiān)測(cè)轉(zhuǎn)塔位置*1 。這是一個(gè)新的功能,在10D Vision Unit 的軟件QSPAK VUE 4.1 版和后續(xù)版本中可以提供這一功能。您可以使用軟件來(lái)改變和自動(dòng)監(jiān)測(cè)轉(zhuǎn)塔位置,不再需要另外操控轉(zhuǎn)塔。而且,還解決了您在改變放大率時(shí)可能忘記改變校準(zhǔn)值的問(wèn)題,這樣,就為您提供了一個(gè)使用更可靠、簡(jiǎn)便的系統(tǒng)。 | ●對(duì)觀察和測(cè)量各種各樣的物體來(lái)說(shuō)(半導(dǎo)體、電子電動(dòng)元件,汽車精密元件、樹(shù)脂制品、工具、藥品及有著高對(duì)比度的透明鉛印材料),照明裝置(光源) 是非常重要的。根據(jù)被觀測(cè)物體的形狀,外觀、顏色及材料來(lái)選擇的照明裝置。 |
●當(dāng)顯微鏡用于檢測(cè)、觀察和測(cè)量時(shí),物鏡的高分辨力和長(zhǎng)工作距離對(duì)于提高操作簡(jiǎn)便性而言會(huì)非常重要。為了在視野中獲得清晰的圖像,復(fù)消色差透鏡可以在可見(jiàn)光范圍內(nèi)補(bǔ)償色彩失真 (紅色、藍(lán)色和黃色波長(zhǎng)的補(bǔ)償),而平場(chǎng)規(guī)格物鏡,可對(duì)圖像表面的扭曲,點(diǎn)失真等進(jìn)行補(bǔ)償。FS 物鏡就是集成了這些因素的高性能目鏡。該系列物鏡擴(kuò)大了顯微鏡的應(yīng)用范圍并顯著提高了操作簡(jiǎn)便性。M Plan Apo 系列透鏡適合用于可見(jiàn)光范圍,適于 BF 觀測(cè)。BD Plan Apo 系列則可同時(shí)用于 BF 和 DF觀測(cè)。SL (超長(zhǎng)) 規(guī)格在長(zhǎng)工作距離時(shí)非常有用。G Plan Apo 系列透鏡能夠透過(guò)玻璃觀測(cè)。玻璃厚度補(bǔ)償為 3.5mm (可定制2~5mm)。 | ●我們的目鏡具有大視野 (使用10X目鏡時(shí)視野數(shù)24),更容易觀察和測(cè)量物體。長(zhǎng)工作距離和無(wú)閃爍的標(biāo)準(zhǔn)物鏡可提供明亮的圖像。亮視場(chǎng)和暗視場(chǎng)物鏡均采用平場(chǎng)復(fù)消色差透鏡。我們認(rèn)為長(zhǎng)時(shí)間無(wú)疲勞的觀察和測(cè)量是非常重要的。 |
●0.5X TV 適配器 (帶有 C-mount),用來(lái)安裝數(shù)字?jǐn)z像機(jī)或其它裝置到顯微鏡主機(jī) TV 攝像機(jī)接口的標(biāo)準(zhǔn)適配器。0.5X 縮小倍率加大了觀察視野倍率精度:± 0.1%、圖像視野:11mm注:影像裝置標(biāo)配 | ●三豐提供各種易于測(cè)量顯微鏡操作的各種選件。輔助聚焦能減小聚焦點(diǎn)的偏差,電動(dòng)轉(zhuǎn)塔和電動(dòng)聚焦裝置可改變手動(dòng)變換倍率和聚焦方式,數(shù)顯角測(cè)量旋轉(zhuǎn)頭和帶微調(diào)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)能平滑的旋轉(zhuǎn)被測(cè)目標(biāo),還有其它的各種選件都能使顯微鏡的操作更方便。選擇偏光片裝置和微分干涉對(duì)比裝置能支持顯微觀測(cè),TV 接口適配器在安裝攝像機(jī)可應(yīng)用不同應(yīng)用程序滿足不同用戶的需求以同時(shí)進(jìn)行分析和評(píng)估。 |