一．設備簡介

半導體 超純水設備 是應用 于半導體 生產 零件 清洗 的超純水設備 ，需要 符合 特定 的用水 水質標準 ,半導體 超純水設備 出水 水質 要符合 美國 ASTM 純水 水質標準 、中國電子 工業(yè)電子級水質 技術標準 (18 MΩ.cm 、15 MΩ.cm 、10 MΩ.cm 、2MΩ.cm 、0. 5M Ω.cm )、半導體 工業(yè)用 純水 指標 、集成電路 水質標準 。 

宏潔 水務 在滿足用戶 用水 標準 的基礎 上，在設備 系統(tǒng) 中水箱均設有 液位 控制系統(tǒng) 、水泵 均設有 壓力 保護裝置 、在線 水質檢測 控制儀表、電氣 采用 PLC可編程控制器，真正 做到 了無人 職守 ，同時 在工藝 選材 上采用 推薦 和客戶 要求 的方法 ，使設備 與其它 同類產品 相比較 ，具有 更高 的性價比 和設備 可靠性 。

二．設計標準 及依據(jù)

1.根據(jù) 用戶 提供 的詳細 水質 報告 “量身定制 ”。

2.水處理設備 技術 條件 《JB /T29 32 -1999 》

3.反滲透 水處理設備 標準 《CJ /T1 19 -2000 》

4. 低壓開關 設備 和控制設備 成套 裝置 《IEC 439-1》

5. 實驗室 超純水 技術指標 標準 《GB6 682 -2008 》

6.電子 級超純水 規(guī)格 《GB /T1 1446.1-1997 》

三．工藝流程

1、原水 －原水 加壓泵 －多介質 過濾器 －活性炭過濾 器－軟水器 －精密過濾器 －級反滲透－PH 調節(jié) －中間 水箱 －級反滲透 －純化 水箱 －純水泵 －EDI系統(tǒng) －超純水 箱－純水泵 －拋光 裝置 －終端 超濾 －用水 點

四．設計 特點

1.系統(tǒng) 采用 全自動 控制 (同時 亦可 采用 手動 控制 ），系統(tǒng) 運行 時可設定 自動 反洗 、再生 程序 ；

2.各單元 接線 均在工廠 內完成 ，減少 安裝 調試 時間 ；

3.一級 反滲透 和二級 反滲透 設有 回流 管道 ，反滲透設備 設有 化學清洗 裝置 ；

4. 管道 一般 采用 UPVC 材質 ；

5. 集成 控制系統(tǒng) 和集成 儀表 系統(tǒng) 等，方便 操作 管理 ；

6.RO膜定時 清洗 具有 開機 和定時 清洗 RO