集成電路超純水設(shè)備

　　集成電路超純水設(shè)備用于新興的光電材料生產(chǎn)、加工、清洗，LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、FPC/PCB線路板、電路板、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。都應(yīng)該使用多種純化技術(shù)相結(jié)合制取高品質(zhì)的純水，這樣才能大大提高純水的純度，符合用水需求。而臨床實(shí)驗(yàn)用純水設(shè)備采用雙級(jí)反滲透技術(shù)與純化、殺菌技術(shù)相結(jié)合，出水水質(zhì)達(dá)到美國(guó)ASTM、NCCLS、CAP試劑級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)。

　　集成電路超純水設(shè)備工藝設(shè)計(jì)

　　1、預(yù)處理系統(tǒng)反滲透系統(tǒng)中間水箱粗混合床精混合床純水箱純水泵紫外線殺菌器拋光混床精密過(guò)濾器用水對(duì)象(18M、CM)(傳統(tǒng)工藝)。

　　2、預(yù)處理反滲透中間水箱水泵EDI裝置純化水箱純水泵紫外線殺菌器拋光混床0、2或0、5m精密過(guò)濾器用水對(duì)象(18M、CM)(新工藝)。

　　3、預(yù)處理一級(jí)反滲透加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))中間水箱第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)純水箱純水泵EDI裝置紫外線殺菌器0、2或0、5m精密過(guò)濾器用水對(duì)象(17M、CM)(新工藝)。

　　4、預(yù)處理反滲透中間水箱水泵EDI裝置純水箱純水泵紫外線殺菌器0、2或0、5m精密過(guò)濾器用水對(duì)象(15M、CM)(新工藝)。

　　5、預(yù)處理系統(tǒng)反滲透系統(tǒng)中間水箱純水泵粗混合床精混合床紫外線殺菌器精密過(guò)濾器用水對(duì)象(15M、CM)(傳統(tǒng)工藝)。

　　集成電路超純水設(shè)備設(shè)備特點(diǎn)

　　1、采用進(jìn)口反滲透膜，脫鹽率高，使用壽命長(zhǎng)，運(yùn)行成本低廉。

　　2、無(wú)需酸堿處理，環(huán)保無(wú)三廢。

　　3、自動(dòng)控制，自動(dòng)維護(hù)，水質(zhì)在線檢測(cè)，隨時(shí)監(jiān)測(cè)水質(zhì)變化。

　　4、切合當(dāng)?shù)厮|(zhì)的個(gè)性化設(shè)計(jì)，滿足需求。

　　5、全自動(dòng)控制系統(tǒng)，日常操作極為簡(jiǎn)便，系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行沖洗維護(hù)，制取產(chǎn)品水過(guò)程不需要任何手工操作。

　　6、雙流路設(shè)計(jì)，不但可以制造超純水，還生產(chǎn)純水，方便用戶實(shí)驗(yàn)室的不同級(jí)別用水要求。

　　7、預(yù)留了升級(jí)空間。可以根據(jù)用戶需要輕松實(shí)現(xiàn)功能升級(jí)。

　　集成電路超純水設(shè)備技術(shù)參數(shù)

　　電子級(jí)超純水設(shè)備出水水質(zhì)*符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18M、cm、15M、cm、10M、cm、2M、cm、0、5M、cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))、我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。