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產(chǎn)品|公司|采購|招標(biāo)

廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

Local Scrubber

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時(shí)間2022/3/17 10:54:36
  • 訪問次數(shù)750
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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系統(tǒng)設(shè)計(jì)咨詢、技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品制造、工程承包、運(yùn)營托管
設(shè)計(jì)功能前置處理CVD/ETCH/IMP/DIEF/EPI等工藝機(jī)臺在制程中排出的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有害氣體
Local Scrubber 產(chǎn)品信息

設(shè)計(jì)功能

前置處理CVD/ETCH/IMP/DIEF/EPI等工藝機(jī)臺在制程中排出的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有害氣體。經(jīng)處理的廢氣進(jìn)入后段有毒、酸堿等系統(tǒng)進(jìn)行二次處理,實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。

 

適用廢氣

適用于泛半導(dǎo)體工業(yè)制程廢氣前端處理領(lǐng)域,含氟、氯、硅、氮、氫等元素為代表的溫室氣體,以及劇毒性、易燃性有害氣體。

 

工藝原理

工藝機(jī)臺產(chǎn)生的有害廢氣經(jīng)真空管道及附屬工藝真空設(shè)備,被導(dǎo)入LOCAL SCRUBBER內(nèi)部反應(yīng)腔,進(jìn)行燃燒或高溫分解。經(jīng)燃燒或高溫分解后的附產(chǎn)物,進(jìn)入后序裝置進(jìn)行二次處理(干式吸附除外),從而達(dá)到安全可靠集中收集、集中處理的目的。

 

系統(tǒng)優(yōu)勢

高效處理大容量 SiH4,H2,NH3,PFCs等有害廢氣;根據(jù)所處工藝狀態(tài)點(diǎn),自動(dòng)適配功率;三擋功率模式自動(dòng)切換,極速升降溫,限度縮短預(yù)熱、保養(yǎng)用時(shí),增加投入運(yùn)營時(shí)間。

 

盛劍系統(tǒng)服務(wù)

盛劍同時(shí)提供后序酸堿系統(tǒng)、有毒系統(tǒng)等系統(tǒng)服務(wù),實(shí)現(xiàn)從本地處理到最終達(dá)標(biāo)排放的系統(tǒng)解決方案。

 

 

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