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廣電計量檢測集團股份有限公司

Local Scrubber

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質
  • 更新時間2022/3/17 10:54:36
  • 訪問次數751
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系統(tǒng)設計咨詢、技術研發(fā)、產品制造、工程承包、運營托管
設計功能前置處理CVD/ETCH/IMP/DIEF/EPI等工藝機臺在制程中排出的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有害氣體
Local Scrubber 產品信息

設計功能

前置處理CVD/ETCH/IMP/DIEF/EPI等工藝機臺在制程中排出的劇毒、易燃易爆及溫室氣體等有害氣體。經處理的廢氣進入后段有毒、酸堿等系統(tǒng)進行二次處理,實現達標排放。

 

適用廢氣

適用于泛半導體工業(yè)制程廢氣前端處理領域,含氟、氯、硅、氮、氫等元素為代表的溫室氣體,以及劇毒性、易燃性有害氣體。

 

工藝原理

工藝機臺產生的有害廢氣經真空管道及附屬工藝真空設備,被導入LOCAL SCRUBBER內部反應腔,進行燃燒或高溫分解。經燃燒或高溫分解后的附產物,進入后序裝置進行二次處理(干式吸附除外),從而達到安全可靠集中收集、集中處理的目的。

 

系統(tǒng)優(yōu)勢

高效處理大容量 SiH4,H2,NH3,PFCs等有害廢氣;根據所處工藝狀態(tài)點,自動適配功率;三擋功率模式自動切換,極速升降溫,限度縮短預熱、保養(yǎng)用時,增加投入運營時間。

 

盛劍系統(tǒng)服務

盛劍同時提供后序酸堿系統(tǒng)、有毒系統(tǒng)等系統(tǒng)服務,實現從本地處理到最終達標排放的系統(tǒng)解決方案。

 

 

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