低溫等離子光催化一體化設備在廢氣處理工程中的應用較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成。

低溫等離子光催化一體化設備工藝流程：
氣體收集系統(tǒng)—預處理噴淋洗滌系統(tǒng)—低溫等離子凈化系統(tǒng)—深度氣體吸附催化系統(tǒng)—排放系統(tǒng)—控制系統(tǒng)氣體收集系統(tǒng)主要是將構筑物自由揮發(fā)的氣體收集起來并輸送到后續(xù)處理系統(tǒng)。具體包括氣罩系統(tǒng)、管道輸送系統(tǒng)和風機。

低溫等離子光催化一體化設備工作原理：
廢氣處理中洗滌系統(tǒng)用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣一級凈化處理，具體包括專用填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統(tǒng)等。
低溫等離子凈化器內部裝有*的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統(tǒng)收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態(tài)氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉,達到廢氣處理的目的。
吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設備。由箱體和裝填在箱體內的吸附單元組成，吸附單元根據(jù)廢氣處理要求添加催化劑達到進一步去處異味氣體的目的。控制系統(tǒng)主要用來控制系統(tǒng)開機、停運，并對系統(tǒng)運行效果進行檢測，反饋系統(tǒng)的運行狀態(tài)和技術參數(shù)，從而使設備處于運行狀態(tài)，實現(xiàn)無人值守。