產(chǎn)品特點：
•與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞；
•可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；
•爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)溫差為400℃；
•帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。
加熱爐參數(shù)：
•連續(xù)工作溫度為1100℃
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個溫區(qū)溫差為：400℃
•內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。
•工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW
電動滑軌：
•可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果
•滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)）
升降溫速率：
• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買)
•為獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量：
爐體尺寸：550mmL-380mmW-520mmH
滑軌長度：1750mm
凈重：220Lbs
質(zhì)保：
一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
