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廣電計量檢測集團股份有限公司

勻烤膠一體機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海添時科學儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SH200
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時間2022/4/28 10:56:29
  • 訪問次數(shù)690
產(chǎn)品標簽:

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光度計,水質(zhì)監(jiān)測,氣體發(fā)生器,培養(yǎng)箱,環(huán)境監(jiān)測,實驗室儀器
勻烤膠一體機適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式觸摸式人機交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標可選配置空氣凈化單元(FFU)
勻烤膠一體機 產(chǎn)品信息

勻烤膠一體機

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

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