水中臭氧分析儀-支持150SLPM流量-Model470
概述
Model470是溶解臭氧測量分析儀，為半導體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”，能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路中，支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到了高的性能，且擺脫了對參比液體測量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報告測量的濃度。
技術指標
| 產(chǎn)品型號 | Model470 | 生產(chǎn)廠商 | 美國進口 |
|---|---|---|---|
| 測量原理 | 紫外吸收法，雙路取樣傳感技術 | 紫外光源 | 低壓汞燈 |
| 測量單位 | ppmw, mg/L | 量 程 | 0-150 mg/L (150 ppmw) |
| 精 度 | 0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為準） | 水流量 | 高達150 SLPM |
| 采樣端口 | 1”, 3/4”, 3/8” Flaretek® 連接 | 壓強 | 55 PSI |
| 接觸材料 | 特氟龍®, 藍寶石, 與半導體流程相容 | 外殼 | 聚四氟乙烯特氟隆® |
| 尺寸 | 垂直固定(144 x 171 x 82 mm) | 電纜 | 特氟龍®外層 |
| 電源 | +15 VDC | 認證 | CE 認證 |
| 模擬輸出 | 4-20mA或0-5VDC，出廠時選擇 | 數(shù)字輸出 | I/O RS-232 或 RS485，出廠時選擇 |
| 遠程校零 | 通過DB15進行遠程零點校準 | 維護 | 紫外燈每24個月替換一次，無其他預定維護 |
