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廣電計量檢測集團股份有限公司

無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)(PV-1000)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京合能陽光新能源技術有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2017/12/16 10:14:03
  • 訪問次數(shù)656
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北京合能陽光新能源技術有限公司(以下簡稱“合能陽光”)總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū),公司主導產品涉及半導體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領域,是集研發(fā)、生產、銷售、服務及對外投資于一體的綜合性高科技公司。

公司所服務的客戶來自于國內企業(yè),如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導體和太陽能單位。

公司現(xiàn)有員工34人,大專本科以上學歷25人,研究生6人,博士1人,建筑面積3000m2。

近年來,公司的海外市場發(fā)展勢頭良好,產品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū),目前公司在和海外同行建立產品加工合作關系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。

 

 
檢測儀器和產業(yè)耗材
PV-1000系列無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)為太陽能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、(總厚度變化)TTV、翹曲及無接觸電阻率測量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件,用以進行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)(PV-1000) 產品信息

 

產品介紹
PV-1000系列無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)為太陽能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、(總厚度變化)TTV、翹曲及無接觸電阻率測量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件,用以進行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
無接觸硅片綜合測試系統(tǒng)-產品特點
使用MTI Instruments*的推/拉電容探針技術
每套系統(tǒng)提供zui多三個測量通道
可進行zui大、zui小、平均厚度測量和TTV測量
可進行翹曲度測量(需要3探頭)
用激光傳感器進行線鋸方向和深度監(jiān)視(可選)
集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng)
為工廠測量提供快速以太網(wǎng)通訊接口,速率為每秒5
可增加的直線厚度掃描數(shù)量
與現(xiàn)有的硅片處理設備有數(shù)字I/O接口
基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控
提供標準及客戶定制的探頭
提供基于Windows的動態(tài)鏈接庫用于與控制電腦集成
用渦電流法測量硅片電阻率

無接觸硅片綜合測試系統(tǒng)-技術指標
 晶圓硅片測試尺寸:50mm- 300mm.
      厚度測試范圍:1.7mm,可擴展到2.5mm.
      厚度測試精度:+/-0.25um
      厚度重復性精度:0.050um
      測量點直徑:8mm
 TTV 測試精度:  +/-0.05um
 TTV重復性精度: 0.050um
      彎曲度測試范圍:+/-500um [+/-850um]
      彎曲度測試精度: +/-2.0um
      彎曲度重復性精度: 0.750um
電阻率測量范圍:5-2000ohm/sq0.1-40ohm-cm
電阻率測量精度:2%
電阻率測量重復精度:1%
晶圓硅片類型:單晶或多晶硅
材料:Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有半導體材料
可用在:切片后、磨片前、后,蝕刻,拋光以及出廠、入廠質量檢測等
平面/缺口:所有的半導體標準平面或缺口
硅片安裝:裸片,藍寶石/石英基底,黏膠帶
連續(xù)5點測量
應用范圍
>切片
>>線鋸設置
    >>>厚度
      >>>總厚度變化TTV
     >>監(jiān)測
>>>導線槽
>>>刀片更換
>磨片/刻蝕和拋光
>>過程監(jiān)控
>>厚度
>>總厚度變化TTV
>>材料去除率
>>彎曲度
>>翹曲度
>>平整度
> 
>>材料去除率
> zui終檢測
>> 抽檢或全檢
>>  終檢厚度


典型客戶
美國,歐洲,亞洲及國內太陽能及半導體客戶。
15168338725
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