日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測設(shè)備
YIS 系列的高倍率檢測設(shè)備可在螢?zāi)簧铣尸F(xiàn)一個(gè)10mm的視場。
特別廣泛應(yīng)用于磊晶處理后的滑線檢查。同時(shí)也適用于硬碟或光學(xué)拋光元件。
檢測靈敏度約相當(dāng)于50倍的微分干涉像差顯微鏡。
即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
光學(xué)系統(tǒng)對應(yīng)等級１。
光學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。
根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度。
- 日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測設(shè)備
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
選配
| 電動馬達(dá)檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機(jī) |
| 搬運(yùn)裝置 |
※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過來，之后我們再將影像結(jié)果回寄。
日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測設(shè)備
| 檢測尺寸 | 從φ100mm至φ300mm |
| 檢測內(nèi)容 | 平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等 |
| 檢測倍率 | 1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
| 檢測靈敏度 | 檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整 |
| 使用光源 | 550nm?。ü潭ㄕ斩戎€(wěn)定光源） |
| 鏡頭 | 高解析度CCD鏡頭 |
| 平臺 | 手動平臺（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備） |
用途
| 鏡面晶圓的表面檢測 |
| 滑線檢測 |
| 玻璃基板檢測 |
| 其他鏡面基板檢測 |
選配
| 電動馬達(dá)檢測平移臺 |
| 自動判定缺陷影像處理裝置 |
| 影像列印機(jī) |
| 搬運(yùn)裝置 |
※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。
※ 可將樣品寄送過來，之后我們再將影像結(jié)果回寄。
