特點(diǎn)

●利用1臺(tái)濃度計(jì)可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。

●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。

●監(jiān)測(cè)周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。

●通過*分離電氣部分和測(cè)量部分以提高穩(wěn)定性。

●輕便小巧的設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間。

●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。

主要特點(diǎn)

●利用1臺(tái)濃度計(jì)可以監(jiān)測(cè)4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測(cè)。
1臺(tái)濃度計(jì)中最多可存儲(chǔ)4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測(cè)單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。

●實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)。測(cè)量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測(cè)單元，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的濃度監(jiān)測(cè)。為了強(qiáng)調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測(cè)單元裝置型的濃度計(jì)，以進(jìn)行反饋控制?？梢员３衷谒幰簼舛戎档脑试S范圍內(nèi)，同時(shí)也可以避免不必要的藥液更換工作。

●監(jiān)測(cè)周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
以大約3秒這樣短的測(cè)量周期實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性。支持多槽、單槽?單晶圓方式清洗裝置的精確濃度管理。

●通過*分離電氣部分和測(cè)量部分以提高穩(wěn)定性。
使用光纖傳輸光源信號(hào)確保了了濃度計(jì)和檢測(cè)單元的*分離。由于可以把濃度計(jì)設(shè)置在藥液氣體以外，所以不需要擔(dān)心腐蝕等現(xiàn)象。

●輕便小巧的設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
由于底面面積只有本公司原來產(chǎn)品的2/3左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。除此以外，由于重量較輕，所以也可以設(shè)置在清洗裝置的上面。

●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
通過使用監(jiān)測(cè)輸出，進(jìn)行各成分藥液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)了高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高提高產(chǎn)量。