Gaertner Stokes激光橢圓儀LSE-USB
Gaertner stokes laser ellipsometer LSE-USB
具有便捷USB接口的LSE-USB型號使用的 StokesMeter™技術(shù)（曾榮獲 Photonics Spectra和R＆D 100新產(chǎn)品獎）。該單元簡單而堅固的設(shè)計提供了的易用性和即時測量。它是非常復(fù)雜的橢圓儀的一種流行替代方案，可用于精確的常規(guī)測量。
與其他橢偏儀不同，StokesMeter™ 這項技術(shù)無需移動部件，也無需調(diào)制器，即可快速準(zhǔn)確地確定入射角度為70°的HeNe激光測量光束的完整偏振態(tài)。激光光源具有足夠的光強度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的測量精度。激光源還具有光譜精確，穩(wěn)定和持久的優(yōu)勢。激光允許使用光學(xué)器件，檢測器和其他組件進行的儀器設(shè)計，從而可以進行高度精確的測量。LSE-USB設(shè)計占用空間小，但可容納300mm的大樣本。樣品臺可以鎖定在適當(dāng)位置，也可以用手輕松移動以測量樣品表面上的任何點。
高速薄膜厚度系統(tǒng)可以在不到一秒的時間內(nèi)完成常規(guī)測量！
特征
，無移動部件的高級StokesMeter™ 測量頭。
測量極化的完整狀態(tài)，以提高準(zhǔn)確性。
使用光譜精確的激光橢偏儀進行準(zhǔn)確，穩(wěn)定的測量。
的薄膜測量儀器。
免傾斜，免聚焦，免提操作，適用于類似晶片。
簡單，緊湊的臺式儀器-價格具有競爭力。
gaertner橢偏儀測量程序LGEMP說明
LGEMP Windows軟件用途廣泛，可以測量單層膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑）以及已知的1、2或3層堆棧的頂層，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。單層有機膜是LSE-USB型號的精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用。
“文件處理程序”可以保存和快速檢索常用的測量設(shè)置參數(shù)。可以將四個用戶定義的設(shè)置文件分配給一個步驟的“按即走”快捷按鈕，以快速訪問不同的測量設(shè)置。
LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允許對薄膜模型進行理論上的“假設(shè)”類型模擬，從而提供對薄膜模型的更深入了解。頂層薄膜厚度T1（粉紅色線），折射率Nf1（紅線），吸收Kf1（棕線）， Y（黃線）， D（綠線），左側(cè)帶有可移動滑塊，可迅速顯示變化的影響模型參數(shù)對薄膜折射率的分辨率和可測量性。淺綠色線是恒定膜折射率Nf1的線。白線是Nf1的Autofix區(qū)域，在該區(qū)域中索引不容易解析。
Stokesmeter™技術(shù)的說明
這種的設(shè)備無需移動部件，也不需要調(diào)制器，可以快速，準(zhǔn)確地確定測量光束的完整偏振狀態(tài)，從而提高了測量精度。
上圖顯示了用于同時測量所有四個Stokes光參數(shù)的StokesMeter™光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個光電探測器表面，每個光電探測器表面均被部分光譜反射，并且每個光電探測器表面均產(chǎn)生與光電探測器的分數(shù)成比例的電信號。它吸收的輻射。第四光電探測器基本上吸收光，并檢測其余的光。這樣形成的四個輸出形成一個4x1信號矢量I，它與輸入斯托克斯矢量 S線性相關(guān)，即I = AS。所以，小號通過獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的，這要求前三個檢測器表面的入射平面都不同。對于給定的四個檢測器布置，可以通過校準(zhǔn)來計算或確定A。
技術(shù)優(yōu)勢
簡單，緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開關(guān)，電動機和檢測器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。此外，消除了偏振器臂上的波片機構(gòu)，從而實現(xiàn)了快速，精確，無移動的橢圓偏振儀。
斯托克斯（Stokes）橢圓儀的一項杰出功能是對由于樣品不平整而導(dǎo)致的角射束偏差的微小變化進行了補償；這樣就可以在整個晶圓表面上進行快速，連續(xù)的測量，而無需暫停以校正聚焦和傾斜。。
LSE-USB斯托克斯橢圓儀非常精確和穩(wěn)定，是基本的簡單橢圓儀中的價值。LSE-USB型橢偏儀附帶LGEMP Windows™軟件，USB電纜，6英寸樣品臺和參考晶圓。它通過USB 2.0端口連接到Windows™PC或筆記本電腦。
LSE-USB可以配備以下選件：
可選的小光斑LSS可以將 標(biāo)準(zhǔn)的1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米（樣品）， 請參見我們的LSE-MS模型，樣品上的15 x 45微米
可選的8英寸樣品臺L8 替代了8英寸樣品臺，代替了標(biāo)準(zhǔn)6英寸樣品臺
可選的L-SCAT太陽能電池/ 散射樣品測量 太陽能電池行業(yè)中常見的粗糙散射樣品很難用大多數(shù)橢圓偏振儀準(zhǔn)確測量，因為信號強度損失且測量光束去極化。盡管有提高信號強度和捕獲更多散射光的方法，但是處理去極化要困難得多，并且需要確定極化的完整狀態(tài)，即測量4個行程參數(shù)S0，s1，s2，s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點自然是我們 StokesMeter ?
旋光儀用作橢偏儀的分析儀。這使Stokes橢偏儀具有的功能，可以立即將測量光束的偏振和非偏振分量分開，從而僅基于光的全部偏振分量就可以對薄膜厚度和折射率進行高精度測量。L-SCAT散射選項包括對硬件的修改，可以捕獲更多來自粗糙，有紋理的表面的散射光，并且可以顯示偏振度P的程序。 但是，有些樣本過于粗糙，散射的光線太多，無法通過橢圓偏振法進行測量。
帶有預(yù)裝驅(qū)動程序以及軟件和安全纜線的 可選WIN 10筆記本電腦
可選的Stokes校準(zhǔn)套件L118-KIT
使用4個Gaertner可追溯晶圓加玻璃（L118G-KIT）或
4個NIST可追溯晶圓加玻璃（L118N-KIT）重新校準(zhǔn)任何Stokes橢圓儀。 中號OST用戶將 不需要橢偏儀校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴格的公差和法規(guī)遵從用戶的的半導(dǎo)體制造商。
斯托克斯橢圓儀LSE-USB規(guī)格
| 對準(zhǔn)： | 使用計算機校準(zhǔn)屏幕手動調(diào)整傾斜度和工作臺高度。 |
| 入射角： | 70度 |
| 測量方法： | Advanced StokesMeter™無需移動部件和調(diào)制器，只需使用4個固定式硅探測器即可確定完整的測量光束偏振，因此測量結(jié)果穩(wěn)定且準(zhǔn)確。 |
| 測量時間： | 實際上是瞬時的 |
| 測量激光： | 6328?HeNe氣體激光器，光束直徑為1mm |
| 對準(zhǔn)激光： | 670nm激光二極管 |
| 樣品（晶圓）尺寸： | 300毫米寬X無限長度 |
| 階段： | 6英寸手動定位工作臺，具有傾斜度和工作臺高度調(diào)節(jié)功能。 |
| 軟件： | 包含Windows™LGEMP 4層程序。 |
| 所需計算機： | 帶有USB 2.0端口的Windows™臺式機或筆記本電腦（不包括） |
| 膜厚范圍： | 基板上，1、2、3或4個已知子層上的0-60,000埃。 |
| 精度和重復(fù)性： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)低于亞埃。 |
| 折光率： | 在大多數(shù)測量范圍內(nèi)為±0.0005。 |
| 功率： | 100V-240V，50-60Hz。，1安 |
| 尺寸圖 | 高度：16.5寬度：27.5深度：16英寸 凈重：45磅。運輸重量：65磅。 |
| CDRH合規(guī)性： | 蓋特納（Gaertner）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。 |
| CE合規(guī)性： | 斯托克斯橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標(biāo)志。 |
| 保證： | 1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運輸費用 |
