該爐是一款能夠快速升溫和降溫的管式爐，其通過紅外燈管加熱達到快速升溫的效果（升溫速率> 50°C/S），通過爐體滑動來達到快速冷卻效果。
應(yīng)用范圍：
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計，采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。
技術(shù)參數(shù)：
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層風(fēng)冷 |
溫度控制 | PID30段程序化控制，并帶有過熱和斷偶保護 |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度 | 1100℃；連續(xù)工作溫度：950℃（可達1小時）； |
熱電偶 | K型熱電偶測量樣品處溫度； |
管外徑 | 100 mm |
加熱區(qū)長 | 200mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
爐管材質(zhì) | 高純石英管 |
可快冷樣品 | 可強迫風(fēng)冷；吹N2或壓縮空氣。 |
滑動范圍 | 可通過溫控儀表自動控制 ，當(dāng)溫度程序運行完過后，爐體將按照設(shè)定速度從右端滑到左端 |
真空系統(tǒng)（選配） | 旋片泵、擴散泵機組、分子泵機組 |
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