該系統(tǒng)是一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過(guò)滑動(dòng)爐子可以實(shí)現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻。
應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱(chēng) | 1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng) |
部分： 1200度滑道雙管雙溫區(qū)管式爐 | |
產(chǎn)品型號(hào) | 1200度滑道管式爐 |
爐管尺寸 | 雙石英管 外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 內(nèi)管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm |
加熱區(qū) | 220+220mm |
供電電源 | 230V，單相，50HZ |
功率 | 4.0 kw |
加熱元件 | 電阻絲 |
升溫速率 | 0-20°C/min |
熱電偶 | K型 |
第二部分： 水冷系統(tǒng) | |
法蘭 | 1.水冷機(jī) CW-3000 2.水冷，密封雙管的真空法蘭：允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管. |
第三部分 真空系統(tǒng) | |
真空系統(tǒng) | 1. 防腐數(shù)顯真空計(jì) 2. VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口，波紋管和箱體 |
第四部分 混氣系統(tǒng) | |
質(zhì)量流量計(jì) 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm ....... | |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿(mǎn)后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶(hù)手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
