三路質(zhì)子流量控制器主要用于實(shí)驗(yàn)室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實(shí)驗(yàn)室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環(huán)境.
該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).三路質(zhì)子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
應(yīng)用范圍：
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測與分析設(shè)備
7.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制 8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測和控制的場所
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 三路質(zhì)子氣體流量控制器 |
| 流量計(jì)類型 | 質(zhì)子流量計(jì) |
| 流量計(jì)管芯 | 304不銹鋼 |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
| 管道常態(tài) | 常閉 |
| 流量計(jì)外殼 | 黑色鋁殼 |
| 氣體種類 | 3種 |
| 接口尺寸 | 1/4" |
| 測量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性度 | ±0.5%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa |
| A路氣體測量范圍 | 0～100SCCM |
| B路氣體測量范圍 | 0～200SCCM |
| C路氣體測量范圍 | 0～500SCCM |
| 流量控制范圍 | 2%～99% |
| 零點(diǎn)溫漂 | 0.6F.S(15～35℃) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 2S |
| 工作環(huán)境溫度 | (15～50℃) |
| 精度保證溫度 | (15～35℃) |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 設(shè)備重量 | 43kg |
