日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050
Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐，可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。
用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認(rèn)可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎(chǔ)上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設(shè)計(jì)，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。
用途
硅片和復(fù)合圓晶的快速退火
電子材料的快速熱退火，例如光學(xué)CVD的基板
玻璃基板，陶瓷和復(fù)合材料等的熱處理
熱循環(huán)測試
金屬材料的熱退火
涂膜的耐熱性評估
有機(jī)材料和樹脂的加熱和干燥
特長
可對φ50mm以內(nèi)的樣品進(jìn)行熱處理
最高熱處理溫度1200℃
集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設(shè)計(jì)
搭配水冷循環(huán)腔體，可進(jìn)行潔凈的快速升降溫。
通過USB連接，可將溫控程序輸入到電腦
加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數(shù)據(jù)；
仕様
| 控溫范圍 | RT ～ 1200 °C |
|---|---|
| 升溫速率 | 50 °C/s |
| 樣品尺寸 | □ 50 or φ 50 × t 2 (mm) |
| 氣氛 | 真空，流動(dòng)氣氛 |
* 可選配件：真空泵
* 加熱溫度or升溫速率根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率，吸收率，熱容和材料而變化。
均勻性測試
① 500℃,Δt = 3.2℃
② 800℃,Δt = 0.6℃
③ 1000℃,Δt = 4.2℃
④ 1200℃,Δt = 2.6℃
樣品安裝（2英寸樣品）
安裝需求
| 電源 | AC200V , 5kW |
|---|---|
| 冷卻水 | 流速≥ 6L/minn 水壓≥0.3Mpa |
| 外形尺寸 | 450(W) x 492(D) x 219(H) mm （不包含突出部分） |
| 重量 | 約 24kg |
可選配件
SiC包覆的石墨樣品臺(tái)
真空泵 (旋轉(zhuǎn)真空泵，干式真空泵，分子泵)
轉(zhuǎn)子流量控制計(jì)
冷卻水流量控制器
止回閥（泄壓閥）
電源線，冷卻水管
冷卻水循環(huán)機(jī)
手提點(diǎn)焊機(jī) HS-9000
手提弧焊機(jī)HA-1H
日本advance riko桌面型快速退火爐MILA-5050
