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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

顯微分光膜厚儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)OPTM 系列
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/10/11 14:29:17
  • 訪問次數(shù)216
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北京卓立漢光儀器有限公司成立于1999年,是國(guó)內(nèi)精密光學(xué)儀器和精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)產(chǎn)品的供應(yīng)商之一,致力于為廣大光電行業(yè)從業(yè)者提供針對(duì)性的產(chǎn)品及解決方案。 目前公司的位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)高等院校和激光加工設(shè)備廠商等生產(chǎn)型企業(yè)用戶單位中。自2000年通用型三光柵光譜儀量產(chǎn)后,公司持續(xù)推出多個(gè)系列的熒光、拉曼、太陽(yáng)能電池檢測(cè)等光譜測(cè)量系統(tǒng),同樣在上述用戶群體中收到歡迎。成立20年來,卓立漢光始終堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念,取得了穩(wěn)步發(fā)展。目前其在國(guó)內(nèi)擁有300多名員工,在上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司,在法國(guó)、波蘭、韓國(guó)等國(guó)家擁有合作關(guān)系良好的代理商,構(gòu)建了覆蓋主要市場(chǎng)的行銷網(wǎng)絡(luò)。
OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進(jìn)行測(cè)量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。可通過非破壞性和非接觸方式測(cè)量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測(cè)量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測(cè)量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
顯微分光膜厚儀 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能
通過顯微光譜法測(cè)量高精度反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))
1點(diǎn)1秒高速測(cè)量
顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)
區(qū)域傳感器的安全機(jī)制
易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求
支持各種自定義
 
OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表
 
OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長(zhǎng)范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測(cè)定時(shí)間 1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規(guī)格 氘燈+鹵素?zé)?  鹵素?zé)?/td>
電源規(guī)格 AC100V±10V 750VA(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
重量 約 55kg(自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
 

測(cè)量項(xiàng)目:

反射率測(cè)量
多層膜解析
光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

 

測(cè)量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來發(fā)送信號(hào),但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜,或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制,有必要測(cè)量這些膜厚度。

 
關(guān)鍵詞:傳感器
15168338725
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