| 產(chǎn)品配置 | CCD自動檢測、工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測系統(tǒng)等 |
| 設備生產(chǎn)節(jié)拍 | 850盤/天 |
| 產(chǎn)品品質(zhì) | 良率≧99.5% |
| 產(chǎn)品精度 | 晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內(nèi) |
| 產(chǎn)品尺寸 | 3米*2.7米*2.45米 |
用于ICP干蝕刻工藝設備之前的智能生產(chǎn)設備 FST-SC100P-A
l全自動：高度智能信息化系統(tǒng)可實現(xiàn)自動上盤，盤尋邊，襯底mapping，襯底尋邊，Wafer ID讀取，自動上片，自動鎖螺絲，盤自動下料，Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES
l高配置：CCD自動檢測、工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等
l高節(jié)拍：850盤/天
l高品質(zhì)：良率≥99.99%
l高精度：晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm，±0.2度以內(nèi)
l人性化：成熟*的自動控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程
l設備尺寸：3.2米*3米*2.5米
