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廣電計量檢測集團(tuán)股份有限公司

碳化硅外延生長爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱湖南頂立科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/10/31 14:54:07
  • 訪問次數(shù)426
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湖南頂立科技有限公司創(chuàng)辦于2006年,是一家專業(yè)從事特種材料及特種熱工裝備研發(fā)、生產(chǎn)的國家重點(diǎn)。2015年通過并購,成為大銅板帶企業(yè)楚江新材(代碼:002171)的控股子公司。公司研發(fā)實(shí)力雄厚,創(chuàng)新能力強(qiáng),擁有多專業(yè)、高水平的協(xié)同創(chuàng)新研發(fā)團(tuán)隊;擁有“全國博士后科研工作站”、“湖南省國防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、“湖南省工程實(shí)驗(yàn)室”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“湖南省企業(yè)技術(shù)中心”等創(chuàng)新平臺。攻克了長期制約我國熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取得了一系列科技成果。先后主持或承擔(dān)國家及省部級重大科研專項(xiàng)30項(xiàng);主持起草國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)13項(xiàng);擁有近400項(xiàng),其中發(fā)明200余項(xiàng);榮獲省部級科技獎勵15項(xiàng),其中湖南省技術(shù)發(fā)明一等獎1項(xiàng)、中國有色科技進(jìn)步一等獎1項(xiàng)、湖南省國防科技進(jìn)步一等獎2項(xiàng);完成科技成果鑒定(科學(xué)技術(shù)評價)25項(xiàng),其中14項(xiàng)“”。公司研制開發(fā)的熱工裝備,廣泛應(yīng)用于碳基/陶瓷基復(fù)合材料、碳纖維/碳化硅纖維、高性能陶瓷、石墨、真空熱處理、真空擴(kuò)散焊、真空熱壓、粉末冶金、環(huán)保等多個領(lǐng)域。公司以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任,積極參與國家重大專項(xiàng)的建設(shè),先后完成多項(xiàng)國家重大專項(xiàng)急需的新材料及熱工裝備的研制,成功打破西方國家和禁運(yùn);助力航天系統(tǒng)建成了大尺寸、異型碳纖維復(fù)合材料構(gòu)件熱近凈成形智能熱工裝備數(shù)字化車間,推動航天航空等領(lǐng)域熱處理加工的智能制造,公司是航天航空等領(lǐng)域特種大型熱工裝備重要研制生產(chǎn)單位。公司結(jié)合多年深耕熱工裝備領(lǐng)域累積的經(jīng)驗(yàn),研制的有機(jī)固廢熱解裝備廣泛應(yīng)用于廢漆包線、廢線路板、廢鋰電池、油漆(墨)渣、含油污泥等有機(jī)固廢的熱解處理。為環(huán)保領(lǐng)域企業(yè)及科研單位提供有機(jī)固廢無害化、減量化、資源化處理的成套裝備及整體解決方案。公司建立了湖南省首條金屬3D打印全產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)線,技術(shù)涵蓋母合金設(shè)計、熔煉、制粉、增材制造、熱處理、性能檢測等。開發(fā)的鈦基、鎳基、鋁基等金屬基3D打印材料及構(gòu)件達(dá)到水平,已成功運(yùn)用于航空航天、、醫(yī)療等領(lǐng)域。公司攻克了第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶體材料——超高純碳粉關(guān)鍵制備技術(shù),研制開發(fā)的高純碳粉、高純碳纖維隔熱材料、高純石墨制品,性能指標(biāo)達(dá)水平,產(chǎn)品純度可達(dá)99.9999%(6N)以上,實(shí)現(xiàn)材料進(jìn)口替代,材料缺口,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、核電、電子電器、光伏、航天航空等領(lǐng)域。多年來,公司秉承“為社會提供*材料和裝備,致力于推動人類文明的進(jìn)步與發(fā)展”的使命,堅持“創(chuàng)新、服務(wù)、為顧客創(chuàng)造價值”的理念,成為*特種材料及特種熱工裝備方案解決者和綜合服務(wù)商。
碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備
碳化硅外延生長爐 產(chǎn)品信息

碳化硅外延生長爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù),能精密控制MTS/MS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動?。?/span>

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
溫度(℃)15001500150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

碳化硅外延生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

15168338725
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