該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite^®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。

P-17設(shè)備是正真可以實現(xiàn)自動化多點(diǎn)測量的設(shè)備，是工藝提升的必要工具！

主要技術(shù)參數(shù)

• 1.重復(fù)性：≤4A （0.01%）
• 2.垂直分辨率：0.01A
• 3.水平分辨率（X): 0.025um
• 4.水平分辨率（Y):0.5um
• 5.采樣率(點(diǎn))：4,000,000
• 6.垂直線性度： ±0.5%＞2000A
• 7.針壓范圍：0.03~50mg
• 8.量測長度：200mm（無需拼接）
• 9.掃描速度：2um/s-25mm/s

主要功能

• 1.臺階高度：幾納米至1000μm
• 2.微力恒力控制：0.03至50mg
• 3.樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
• 4.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)
• 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
• 6.軟件：簡單易用的軟件界面
• 7.生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化
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主要應(yīng)用

臺階高度：2D和3D臺階高度

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• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

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• 形狀：2D和3D翹曲和形狀

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• 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

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• 缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

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