*的功能
高品質(zhì)的圖像
通過改進(jìn)電子光學(xué)系統(tǒng)，使圖像質(zhì)量更高，成像和分析更快。減少了充放電現(xiàn)象
新的掃描方式能抑制非導(dǎo)電性樣品的荷電效應(yīng)。低真空模式(LV)
低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa，拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)
全自動5 軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺提高了尋找感興趣的區(qū)域（ROI）的速度。使用導(dǎo)航系統(tǒng)（選配件）在彩色圖像上能迅速到達(dá)感興趣的區(qū)域。分析
在高電流模式下，束流電流可高達(dá)1 μA ( 加速電壓≥20 kV) 。
高性能的可變焦聚光鏡限度地減少了因探針電流改變而引起的圖像和焦點(diǎn)漂移。
計算機(jī)控制的全對中樣品臺旋轉(zhuǎn) ，能很容易地對樣品或感興趣的區(qū)域定位。
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多功能
大型樣品室和樣品臺
能容納大型、較重的樣品，可裝載尺寸為200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重達(dá)2 kg 的樣品。幾何設(shè)計的分析接口
多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 處于同一平面，此外，還能安裝兩個相隔180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。移動迅速的樣品臺
新開發(fā)馬達(dá)驅(qū)動樣品臺能快速地定位 ( 與其它JEOL 的產(chǎn)品相比快1.5 倍）。全自動5 軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
采用了機(jī)械對中、五軸（X、 Y,、Z、T、R) 異步馬達(dá)控制的樣品臺，當(dāng)觀察厚樣品或當(dāng)感興趣區(qū)域(ROI) 不在傾斜軸的中心時，可利用標(biāo)配的計算機(jī)控制的全對中傾斜和旋轉(zhuǎn)校正功能。全新的真空系統(tǒng)
全新的真空系統(tǒng)縮短了樣品交換后抽真空的時間，使低真空模式下的信號更好。
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直觀的操作
觸摸屏界面
新設(shè)計和開發(fā)的圖形用戶界面（GUI）使操作更加舒適，還能支持觸摸屏操作。 用戶界面的大小可以調(diào)節(jié)，因此在分析或數(shù)據(jù)處理時，可以優(yōu)化工作空間。多用戶、多任務(wù)
多用戶登錄功能，可用于自定義工作區(qū)和樣品條件的設(shè)置。支持多語言
用戶界面語言可以在日語和英語間切換( 通過圖標(biāo)選擇)。
